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45卷第9期 人 工 晶 体 学 报 v01．45N。．9 2016年9月 JOURNALOFSYNTHETICCRYSTALS September．2016 氧化锆及钼金属热场对蓝宝石泡生法的影响 朱博1’2，李进1，高忙忙1，杨轶涵1 (1．宁夏大学宁夏光伏材料重点实验室，银川750021；2．广西大学电气工程学院，南宁530004) 摘要：蓝宝石晶体以优越的综合性能被广泛用于军事及半导体衬底材料领域。泡生法是制造大尺寸蓝宝石晶体的 主要方法，但其传统热场结构的低效率制约了晶体直径的增加。基于氧化锆陶瓷和钼金属材料设计了新型层状热 场，并实验考察它们不同的内外组合形式对蓝宝石晶体生长过程中保温效率的影响。结果表明当热场结构以氧化 锆陶瓷内置、钼金属外置进行组装时可有效降低电能损耗；基于新型热场蓝宝石晶体生产良率高达81％，表明所设 计热场的合理性。 关键词：蓝宝石；泡生法；热场；氧化锆；钼金属 中图分类号：TD878 文献标识码：A EffectofThermalFieldoftheZirconiumOxideand onthe Molybdenum Method SapphireCrystalsbyKyropulos ZHU Yi．hanl B01”，LIJinl，GAO Mang．man91，YANG of forPhotovohaic LaboratoryNingxia (1．Key Materials，NingxiaUniversity，Yinchuan750021，China； ofElectrical 2．College Engineering，Guangxi 530004，China) University，Nanning has usedinthe andsemiconductorfieldsforits Abstract：Sapphirecrystalwidely military superior methodisthemainstreammethodtoachievethis low properties．Kyropoulos aim，however，the efficiency ofthetraditionalthermalfieldlimitsthe diameterincrease．Inthis thermal crystal study．amultilayer fieldof Zirconiaandthe the metalwas itsinsulationefficientofthedifferent molybdenumdesigned，and assemble werestudiedandesti