激光直写技术的研究现状和其进展.pdfVIP

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2017-06-14 发布于北京
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激光直写技术的研究现状和其进展.pdf

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光电子技术与信息综述激光直写技术的研究现状及其进展徐兵 , 魏国军 , 陈林森苏州大学信息光学工程研究所, 江苏苏州、摘要介绍了激光直写技术的最新发展现状 , 系统的功能结构和工作方式 , 对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析, 探讨了系统的应用范围和今后的发展方向关键词激光直写二元光学元件光刻空间光调制器光变图像一一中图分类号文献标识码文献编号一群一 , , 一 , , 五 , 一即引言像差检