电子论文-红外焦平面阵列CMOS读出电路参数的计算机辅助测试系统.pdfVIP

第 ∞卷 第2期 红 外 技 术 Ⅷ ∞ No 2 2001年 3月 hffa-amdTechnology Mar 2∞1 红外焦平面阵列 CMOS读出电路参数的 计算机辅助测试系统 贾功贤，袁祥辉，汪 涛，扬 菁 (重庆大学 光电工程学院．重庆 40oo44) 摘要：读出电路是红外焦平面器件研究的关键技术之一，本文研制出一种用于CMOS读出电路参数测 试的计算机辅助测试系统。该系统可靠、精度高，有完整的软硬件环境，以适应各种读出电路的测试。 关键词 ：红外焦平面阵列； CMOS读出电路； 复杂可编程逻辑器件； 计算机辅助测试 中图分类号： 文献标识码：A 文章编号：1001．8891(21301)02-0038-03 能，通常需要测试以下参数 ： 1 引言 1)饱和输出电压 (Saturationoutputsi voltage)： 红外焦平面阵列(mFPA)是一种高性能的红外固 入射到光敏元上 的曝光量太于某一限度 时，器件输 出 体图像传感器，从结构上，可 以分为混合式 (如 L,aSb、 不再随曝光量的增加而变化，此时器件输出的信号电 ngCdTeIRFPA)和单片式 (如 PtSiCCD)两种。比较而 压值。符号为 ，单位为伏特(V)。 言，混合式 IRFPA具有更好的性能。读 出电路 (ROIC) 2)响应的不均匀性 (Photoresponseun-unifonnity)： 是混合式 IRFPA的关键组成部分之一，其性能的好坏 表征器件各光敏元在 1／2饱和曝光量的均匀光照条件 直接影响到 IRFPA的性能”J。 下，各个像元输出信号的不均匀性。符号为 NU，由式 本文研制出一种适用于混合式 IRFPACMOS读出 (1)表示为： 电路参数的计算机辅助测试系统，其性能可靠、精度 厂■ —————一 高、速度快 ，太 大提高 了测试效率 ，对 于定量 评价 NU=√击 (— )／ (1) CMOSROIC的性能，加快研制 和进一步改进 CMOS 式中，肼 为像元数 ， 为第 i位像元 的输 出电压值， ROIC具有重要意义。 为所有像元输出电压的算术平均值 。 2 测试原理 3)暗噪声 (Noiseofdarkoutputvoltage)：器件在无 光照的条件下暗输出电压 随时间涨落的均方根值 ROIC与不同波段的红外探测阵列互连就构成了 与饱和信号 之比，符号为 ，由式(2)表示： 不同波段的红外探测器。由于本系统仅仅测试 ROIC r — ——————一 本身在互连前的电特性参数 ，而不涉及到红外焦平面 = √击 (一) (2) 阵列的性能测试 ，因此 ，无论用哪种方式作为输入来进 行测试，在相同条件下 ，均可 以正确评价 R0 的性 式中，肼为采样次数 ，1I,为 时刻暗输 出电压 ，V 为 能。 肼 次采样的暗电压算术平均值。 为了在与红外探测阵列互连前测试 ROIC的性 4)动态范围(Dy