无尘室用空调箱与建筑材料选用时应注意的事项-洁净室.PDF

技术前沿 Tech Frontier 无尘室用空调箱与建筑材料选用时应注意的事项 对无尘室C/R 而言，较严格要求的部分为地板、天 花板，以及墙壁的部分。至于维修的问题，对材料的选 择是否容易清洁及维修都应有其优先级。在应用力面， 天花板、地板及墙壁三者之中最重要的为天花板，其包 含HEPA 及ULPA 等滤网，可过滤掉房间的微粒子，且 常会因各个不同的需要分别供应各个不同区域的小房 间，有人说若建造之预算因某种原因被限制，除了少数 的小钱外，其天花板将趋于更贵的地步。其实天花板是 一个颇复杂的系统，必须严格地过滤粒子，其设计必须 精确。 许多了解无尘室的人都赞同，第一次建造无尘室的业 无尘室有五个特性 : 主，选择建造C/R 的公司是非常重要的。应选择较好的 (1) 耐久性: C/R 建筑或工程设计公司，或了解建筑C/R 设计之建筑承 无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振 包商，否则难免出现浪费一大笔不必花的钱， 动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性同时也依 对C/R 而言，选择地板的材料也是很重要的。低廉 赖于无尘室等级来建造。半导体Fabs 倾向选择铝，基于 的C/R 地板覆盖着一层乙烯在薄板上，若太硬的地板覆盖 它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。 会引起尘埃，而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂，但 并不是所有C/R 的地板，都会覆盖乙烯基。有些地板是 (2) 清洗: 冲孔式、格子式，而全面层流都是冲孔式。 制药和生物工学工业，无尘室的墙壁需要有容易被清 乙烯基有一作用即脱氧，但高浓度乙烯基与其它物质 洗和擦拭，直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性。在 若混合将会减低脱氧的效果，而无尘室的墙若以铝作为材 biotech 市场，清洗真正地是一个最重要的企业。 料则会非常昂贵，但铝可以保护墙面不被空气所氧化，却 也易受酸性气体的侵蚀，而避免的方法是使用电镀，便铝 (3) 成本: 表面增厚，不易氧化，再在铝表面上涂一层亮光漆即可防 微电子C/R 建设费可能花费到$10 亿。fab 能更快的 止金属氧化。 被建造起来，产品也就能更快到市场。许多半导体公司的 对于半导体工业而言，无尘室是不可或缺的，半导体 口号是较便宜和较好的。然而 钱 将成为一个很重要的 生产对空气中粒子控制的要求非常之严格，故对天花板、 考虑因素。 墙壁、地板的要求亦非常严格。地板承载着人员、台车及 物品的运输，而清除地板所用大部分为消毒药品及化学药 (4) 适