原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
MEMS 原理与器件
区
园 训
业
MEMS原理与器件
工 培
州 才
北京大学微电子学研究院
苏 人
李志宏 届 能
首 技
年 高
3 业
1 产
0 S
2 M
E
M
提纲 区
园 训
p MEMS器件的基本特点——按比例缩小
p MEMS传感器性能要求 业 培
工 才
p 不同传感方式的原理州 人
p 惯性MEMS器件原理与设计
苏 能
届 技
首 高
年 业
3
1 产
0 S
2 M
E
M
按比例缩小的概念 区
园 训
p保持原有的系统结构，几何尺寸按比
业 培
例缩小(Scaling Down)
工 才
州 人
p按比例缩小过程中的不变量
苏 能
⁄原子和分子的尺度
届 技
⁄平均自由程(有条件）
首 高
年 业
⁄表面粗糙度（有条件）
3
1 产
0
⁄ …….. S
2 M
E
M
按比例缩小可能带来的影响
区
p 功能和性能都保持不变 园 训
p 基本功能不变，但性能按 业 培
工 才
比例改变(Scaling Law)
州 人
p 基本功能保持不变，但由
苏
文档评论（0）