小型PECVD 管式炉系统炉说明书.PDF

小型PECVD 管式炉系统炉说明书 OTF- 1200X-50-PE-S 天津品创科技发展有限公司 产品简介 OTF-1200X-50-PE-S 是一款小型的PE-CVD （等离子体气相沉积）管式炉系统。此套设备带有500W 的等 离子射频电源，一个炉管直径为50mm 的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和一个直联式双旋机 械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此 套系统极为理想。 主要特点 1、与普通CVD 相比可以在低温环境下进行气相沉积实验 2、对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制 3、通过工艺调节来控制化学计量 4、能够广泛地用于各种材料沉积，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等 真空法兰和接头 1、真空法兰采用304 不锈钢制作 2、左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。 3、右端法兰设计为KF25 接口，上面配有泄气阀，挡板阀和两个 KF25 卡箍 5、仪器中所配的数字真空计，可以不用因使用气体的不同而进行校正，同时还具有防腐功能 技术参数 产品型号 OTF-1200X-50-PE-S 电源 208 – 240V AC 最大功率 1.2KW 最高工作温度 1200℃ （小于1 小时） 工作温度 连续使用温度 1100℃ 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可延长仪器 炉膛 使用寿命和提高加热效率 高纯石英炉管 炉管 炉管尺寸：50mmOD x 44mmID x 780mmL 可设置30 段升降温程序，并带有过热和断偶保护 加热区 每个温区长度为200mm 恒温区长度为60mm(+/-1°C) AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2L/s 真空泵 与本公司管式炉配套使用，可使其真空度达到 10-2 torr2L/s 进气端带有储气球（防止回油），出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中， 保护环境和人体健康） 输出功率: 5 -500W 可调 稳定性为+/-1% 射频电源频 13.56 MHZ, 稳定性±0.005% 最大反向功率: 200W max 等离子体射频电源 射频电源电子输出口: 50 Ω, N 型半岛体, 阴极 噪声50 dB 冷却方式：空气冷却 输入电源: 208-240V