是德科技E4727A 先进低频噪声分析仪 - Keysight.PDFVIP

是德科技 E4727A 先进低频噪声分析仪 技术资料 引言 电噪声是每个电路中都有的一种现象，它可能由流过电阻器或晶体管的电流引起，也可能由经过钽电容器的泄 漏电流引起。这种噪声是电子器件常见的限制之一，必须加以严格控制。系统工程师必须了解整个系统对噪声 的敏感度，然后推断出导致噪声的关键因素。典型的关键因素可能是诸如半导体器件、传感器或无源元器件这 样的元器件。我们如何量化这些组成部分的噪声？使用 Keysight E4727A 先进低频噪声分析仪（A-LFNA ），您 可以从封装和晶圆层面更细致、更深入地了解元器件、单个器件和集成电路上的噪声。器件建模工程师现在可 以利用先进低频噪声分析仪出色的噪声灵敏度（-183 dBV2/Hz）来表征高电压（最高 200 V ）和超低频率（最 低0.03 Hz）的器件。得益于与 WaferPro Express 软件的无缝集成，用户可以通过编程执行高速直流、电容和 射频测量，并可排列测量顺序，同时还能使用 Cascade Microtech 的软件 API 自动控制晶圆探针台。 晶圆级 1/f 噪声测量的应用范围非常广泛，下面列出部分重要应用。 – 制程设计套件开发。半导体器件工厂支持无厂设计中心设计元器件，例如手机收发信机、频率合成器、模 数转换器等等。为了实现这一目标，工厂必须提供包含基本器件仿真模型的制程设计套件（PDK）。仿真模 型必须包括晶体管（BJT、CMOS 等）和电阻器上的噪声效应。噪声模型必须覆盖所有可能的偏置电流、温 度和器件尺寸。 – 制造统计制程控制和可靠性。例如，GaN 器件的制造商可以在其晶圆上使用噪声测量，作为早期指标来表 征器件可靠性。表现出较大噪声的器件，很可能更快出现故障。相比标准加速寿命测试，我们现在有了一 种无损的可靠性评测方法。此外，噪声是电路应用的关键参数，对于这些应用而言，可以使用晶圆级测量 来跟踪噪声性能在几天、几周和几个月制造周期内的演变。 – IC 噪声技术指标。集成电路制造商在生产运算放大器和线性电压调节器时，通常需要表征输入参考电压 噪声，这是他们技术资料中的一个关键技术指标。一个晶圆可能包含 20,000 个这样的电路。为了有效测 量和映射整个晶圆（甚至是许多个晶圆）上的电路性能，必须使探针和信号调理电路尽量靠近被测器件， 以改善接地性能，最大限度减少外部噪声的影响。 03 | 是德科技 | E4727A 先进低频噪声分析仪—技术资料 得到的噪声数据可以输入到先进器件建模工具以开发器件模型，这些工具包括 Model Builder Program （MBP）和集成电路表征和分析程序（IC-CAP）。接着，这些模型可能会交给电路设计 人员，用以表征低噪声电路的包络。 Sid W=50 L=1 T=25 Vbs=0 Vds=20 Vgs=5 -12 10 数据 -14