2014-21-纳米加工技术概要.ppt

硅基底上生长的Si纳米线： 先蒸镀一层40nm的Ni, 然后生长Si纳米线 (2)纳米棒、纳米丝和纳米线 同轴纳米电缆是指芯部为半导体或导体的纳米丝，外包敷异质纳米壳体(导体或非导体)，外部的壳体和芯部丝是共轴的。 1997年，法国科学家柯里克斯(Colliex)等在分析电弧放电获得的产物中，发现了三明治几何结构的C-BN-C管，由于它的几何结构类似于同轴电缆，直径又为纳米级，所以称其为同轴纳米电缆(coaxial nanocable)。 1998年8月，日本NEC公司张跃刚(Y.Zhang)等用激光烧蚀法合成了直径为几十nm、长度达50μm的同轴纳米电缆。 (3)同轴纳米电缆 纳米级测量技术包括：纳米级精度的尺寸和位移的测量，纳米级表面形貌的测量。 在纳米级测量技术中，主要有光干涉测量技术及扫描显微测量技术两个发展方向。 纳米级测量技术 光干涉测量技术是利用光的干涉条纹以提高测量分辨率。 纳米级测量使用波长很短的激光或X射线进行测量，可以有很高的测量分辨率。 光干涉测量技术可用于长度和位移的精确测量，也可用于表面显微形貌的测量。 用这种原理的测量方法主要有：双频激光干涉测量，激光外差干涉测量，超短波长(如X射线等)干涉测量，基于F-P标准具的测量技术等