熔料、稳定温度、引晶、放肩、转肩.pptVIP

熔料 真空泵的电源开启 打开主室球阀抽空 真空检漏 再次打开真空泵和球阀 升功率 半熔、全熔 开启真空泵电源 轻轻点动主室泵开按钮 缓慢打开主室球阀 按钮由“关” 旋转到“开” 手动球阀转动球阀90度 真空检漏 要求真空极限3Pa时 关闭主室泵球阀（即打开主室泵的反向操作） 关闭主室泵 记时5分钟同时记录下真空计的显示值 5分钟后再次记录真空泵显示值 计算出漏气的速度 再次打开真空泵和球阀 漏速0.3Pa/min进行报修 漏速0.3Pa/min时 再次打开真空泵、主室球阀 打开副室氩气至20L/min（个别试验炉台可为30L/min） 升功率 打开加热开关 开始升低温 50KW 30min后 中温 70KW； 60min 高温 ≤90KW 做好相应的记录 半熔 硅料下塌时为半熔，此时可以看到硅溶液 打开埚转1-2r/min 上升埚位2cm 同时做好相应的记录 稳定温度 降功率、升埚位 二次降功率 三次降功率及二次调整埚位 试温 二次试温 降功率、升埚位通过调整欧陆表降低功率10kw 当石英坩埚内硅料剩余约3kg时 功率下降10KW即由高温时的90KW降到80KW； 提升埚位,使埚位比最低埚位高5cm（液面距离导流筒距离大于5cm)3. 硅料熔完后调整氩气流量计至20L/min，再持续20min 二次降功率 降功率至65kw 在此功率维持时间为40min 埚转打至6r/min 三次降功率及二次调整埚位 调整欧陆表使之达到引晶数值 调整欧陆表为自动状态 升埚位至参考引晶埚位即液面距离导流筒距离为10-15mm 降低籽晶至液面40mm，调整籽晶转速至8/min 欧陆表在此状态持续时间为60min 试温 降低籽晶使之与液面面接触 通过籽晶控制器降低籽晶 籽晶与液面接触后2-3min出光圈为适宜光圈温度 降籽晶控制器打至2-3mm/min，以细径部位直径基本无变化为适宜引晶温度 在此状态维持10min 二次试温 如初次试温达不到要求开始此操作 调整欧陆表调整欧陆值 调整温度后必须使温度在后次调整温度稳定30min方能二次试温 引晶 光圈的出现 引晶的开始 缩颈 引晶直径控制 引晶结束 光圈的出现 找到合适的引晶温度后 调晶转8r/min、埚转2r/min 降籽晶粗晶处（即原始籽晶直径12.5mm）降至溶液内刚刚接触 待光圈出现后稳定2-3min 引晶的开始 记长清零 调埚转为6r/min 待籽晶出现4个小棱角时，打开晶慢升开关，提升拉速至1.0mm/min，引10mm直径为12.5mm的预留籽晶。 缩颈 预留籽晶10mm生长结束后，调整电位器，增大提升拉速到3-5mm/min直径逐渐由12.5mm缩到3mm 整个缩颈长度长度30-40mm；拉速2-5mm/min之间；直径有12.5mm均匀缩小至3mm 引晶直径控制 调整晶慢升电位器，使拉速在1-6mm/min内波动，使直径控制在3±0.5mm，均匀光滑无较大直径波动 直径控制在3±0.5mm，累计长度150mm，平均拉速在2-4mm/min 引晶结束 累计长度150mm，细晶的长度要超过100mm 引晶要求均匀光滑，引晶过程中温度稳定。 放肩 给定拉速 降低拉速值 二次降拉速、温度 放肩直径的要求 直径测量 给定拉速 将拉速放在一定拉速（一般拉速定位在1.4mm/min） 同时进行降温，降温幅度为整个放肩温度的40%（一般放肩温度为50-60个欧路值）。 降低拉速值 放肩直径至30-35mm左右拉速值为0.38-0.40mm/min 时刻观察炉的放肩形状，如温度波动起伏大，根据情况及时调整拉速和温度 二次降拉速、温度 降温度为整个放肩温度的60%(一般放肩的温度的欧路值为50-60个点) 拉速降至0.38-0.4时过10min 开始降温度 放肩直径的要求 6寸单晶在2-2.5小时内将肩放至147-150mm内，肩与水平夹角为30度 6.5英寸单晶要求2.5-3小时放至155-160mm 直径测量 将肩的直径放至预期直径预备转肩 放肩直径降达到转肩直径时，时刻进行直径测量 转肩 准备转肩的直径要求 转肩的操作 直径的控制 直径的控制范围 温校控制 温度稳定 准备转肩的直径 直径的测量 1）6寸单晶直径到147-150mm时准备转肩 2）6.5寸单晶直径到157-160mm时准备转肩 3）8寸单晶直径到195-198mm时准备转肩 转肩的操作 转肩：拉速为2.5-3.0mm/min并跟加埚跟比 6寸单晶埚跟比1：0.115 6.5寸单晶埚跟比1：0.131 8寸单晶埚跟比1：0.196 直径的控制 等光圈发出明显亮圈时降低拉速至1.5-2.0mm/min 缓慢降低拉速，随时测量直径，保证直径在可控的范围内生长 直径的控制范围 以下是转肩结束后要