面心立方结构钛膜的相变 - 中国有色金属学报.PDFVIP

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2017-06-15 发布于天津
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面心立方结构钛膜的相变 - 中国有色金属学报

第 23 卷专辑 1 中国有色金属学报 2013 年 12 月 Vol.23 Special 1 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Dec. 2013 文章编号：10040609(2013)S1s025304 面心立方结构钛膜的相变李磊，韩栋，毛小南，雷文光，贾蔚菊，郭萍，张永强 (西北有色金属研究院，西安 710016) 摘要：应用直流磁控溅射技术在单晶 Al O 基片上沉积纯钛薄膜，在 350 ℃和500 ℃条件下应用不同的溅射功 2 3 率分别沉积了厚度为 50 nm和 100 nm 的纯钛薄膜。结果表明：在Al O (0001)基片上制备出具有面心立方结构的 2 3 FCC相纯钛薄膜，当降低溅射功率或者降低基片温度时，薄膜由面心立方结构转变为六方的 α相。继续增加膜层厚度至微米量级时，钛膜也会逐渐由面心立方结构转变为六方的 α 相。实验证明 Ti 多晶薄膜的相结构变化与薄膜的内应力、晶格取向和薄膜微结构有关。关键词：纯钛薄膜；面心立方；相变；磁控溅射；微结构中图分类号：TG146.4 文献标志码：A Phase transform of FCCTifilms LI Lei, HAN Dong, MAOXiaonan, LEI Wenguang, JIA Weiju, GUO Ping, ZHANG Yongqiang (Northwest Institute for Nonferrous Metal Research, Xi’an 710016) Abstract: Titanium films were deposited by DCsputtering on Al O singlecrystal substrates. Titanium films of 50 nm 2 3 and 100 nm were prepared with different sputtering powersat350 ℃ and 500 ℃. Facecentered cubic (FCC) structure Ti filmsare observed on Al O (0001)singlecrystal substrates. The titanium films areshown to transform fromFCCtoHCP 2 3 structure with temperature and sputtering power. The titanium films with thickness of micron dimension also show HCP structure. The results show that the phasestructure changes of Ti polycrystalline thin filmsare related to the internal stress,crystal orientation offilms and film microstructure. Ke