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表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响.pdf
第 卷 第 期 半 导 体 学 报
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表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响
黄见秋 黄庆安
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东南大学 教育部重点实验室!南京 #
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摘要!建立了一个微开关接触电阻模型 模型将粗糙的触头表面理想化为多微丘结构!并考虑了表面粘连效应!给
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出了接触电阻与接触力之间的变化关系 结果显示!在低接触力下!粘连效应十分重要 粘连模型与 等人
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所建立的模型以及实验值的比较结果表明!粘连效应可以用来解释弹性模型与实验之间的偏差,
关键词!微开关$ $接触电阻$粘连效应
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中图分类号! 文献标识码! 文章编号! #
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分布着三个电极!分别为漏极 #栅极 #
BF657 E64
D 引言
! 与源极 #梁的固定端与源极相连!梁的自由
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由于接触式微开关的功耗低插入损耗小隔离 端下表面具有一只触头!在栅极与梁之间施加一定
度高线性度好!并且可以和其他电子器件集成!因 的工作电压之后!悬臂梁受到静电吸引发生弯曲!进
此正日益成为人们研究的热点 接触式微开关是一 而触头与漏极接触!使得源极与漏极导通 触头与电
, ,
种利用触头进行直接金属接触的三端口器件! 极所用的材料通常为金
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等人 以及郭方敏等人 都对这种
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