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OMRON
欧姆龙多轴运动控制器MCH71在高速多线切割机上的应用
欧姆龙贸易上海有限公司杨霖
摘要:
本文阐述了欧姆龙CJ1W-MCH71运动控制器,利用其高速同步总线控制技术, 以及多种同步控制方式,并结合欧姆龙总线型
W/N-ML2系列驱动器,在高速多线切割机的应用情况。
关键词: 运动控制器;总线控制;伺服;同步;虚轴;张力;线切割机
1.引言 (3)排线伺服从轴2-1: 轴2-1与放线伺服轴2进行绕线往复同
步跟随,使切割线均匀绕在放线滚筒上.
随着晶片、磁性材料等新材料应用的不断发展,已经广泛
(4)张力伺服从轴2-2: 轴2-2通过转距控制方式在放线处对切
用于太阳能电池、下一代照明光源、纳米元器件等一系列高新
割线进行恒张力控制;
技术领域的基础材料。针对这类新材料的切割与加工设备,目
(5)收线轮从轴3: 轴3进行钢丝线收线,跟随主轴保持速度
前主要依赖进口,其中控制器作为其核心技术,不同于一般的
同步;
数控系统,因此成本过高。为了提高产品竞争力,现在国内某
(6)排线伺服从轴3-1: 轴3-1与收线伺服轴3进行绕线往复同
公司采用欧姆龙CJ1W-MCH71运动控制器,利用其高速同步总
步跟随,使切割线均匀绕在收线滚筒上.
线控制技术, 以及多种同步控制方式,并结合欧姆龙总线型W/
(7)张力伺服从轴3-2: 轴3-2通过转距控制方式在收线处对切
N-ML2系列驱动器,在高速多线切割机得到很好的应用, 同时成
割线进行恒张力控制;
功的摆脱了以往依赖欧洲以及日本进口设备的历史,开创了国内
(8)下料伺服轴4: 轴4通过速度进给方式,进行下料进给;
自主研发高科技大型线切割机的新篇章。
•恒定张力:35.0N~40.0N (最小设置单位:0.1N ,误差±
2.系统说明 2N ),张力分辨率0.1,张力控制精度0.5N
•切割线往复走线: 切割线往复走行速度平均400m/min (最
2.1 工艺说明 大500m/min ),往复循环次数最大15次/min
线切割系统的磨削原理是使用自由研磨剂,而非固定的研磨 •工件规格: 适用于半导体材料如硅片、陶瓷、玻璃等其它硬
剂,因此往复式切削系统比传统的单向切削系统具有一定的优 脆材料的高速高精度多片切割加工,主要适用于3 "~6 "硅片的
势。对于同种材料来说,系统可以有更大的行程和线的移动速 高速高精度多片切割加工,每次最大加工数量为400片。
度,只有通过线的往复运动,才能达到理想的研磨效果。连续
的供线系统和旧线回收系统,可以避免线的破损,还可促使线 3.控制难点
的张紧以保证切削线的刚性,这有利于保持切片精度,同时, (1) 在线实时调整从轴2 、3 的速度,从而与主轴1保持线速
最大限度的利用切削线可以有效降低消耗。加工原理如图1所 度同步;
示:
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