自控30803班49号武腾翔开题报告.docVIP

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2017-06-16 发布于重庆
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自控30803班49号武腾翔开题报告.doc

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自控30803班49号武腾翔开题报告

河北化工医药职业技术学院毕业论文（设计）选题报告论文（设计）题目 PLC在糖衣包衣清洗机中的应用姓名武腾翔学号 49 专业班级生产过程自动化 30803 指导教师姚瑞英梁晓明 2010年 11月17日PLC在糖衣包衣清洗机中的应用的开题报告伴随着硅片的大直径化,器件结构的超微小化、高集成化,对硅片的洁净程度、表面的化学态、微粗糙度等表面状态的要求越来越高，主流工艺已经在从90nm向65nm过渡。高集成化的器件要求硅片清洗必须减少给硅片表面带来的破坏和损伤,减少溶液本身或工艺过程中带来的。而清洗设备也正向着小型化、非盒式化及一次完成化方向发展,以减少工艺过程中的,满足90nm乃至65nm级器件工艺的要求。这无论对清洗工艺还是对清洗设备都是一个极大的挑战,传统的清洗方法已不能满足要求。2008 [7] 杨长能等．电器与可编程控制器基础及应用．重庆：重庆大学出版社，2005 [8] 廖常初．PLC基础及应用．北京：机械工业出版社，2003 [9] 廖常初．可编程序控制器的编程方法与工程应用．重庆：重庆大学出版社，2008 [10]刘涤尘．电气工程基础．武汉：武汉理工大学出版社，2008 [11]张奇志. KJ008双向晶闸管过零触发器集成电路. 西安：西安石油学院出版社，2007 河北化工医药职业技术学院毕业论文（设计）选题报告