基于MEMS的复合测量系统线性及偏倚研究.pdfVIP

第34卷第3期 压 电 与 声 光 Vo1．34No．3 2012年O6月 PIEZ0ELECTRICS ACOUST00PTICS June2012 文章编号 ：1004—2474(2O12)O3—0449—03 基于MEMS的复合测量系统线性及偏倚研究 于 金 伟 (潍坊学院 机电与车辆工程学 院，山东 潍坊 261061) 摘 要：介绍了测量系统偏倚及线性分析的概念及方法，通过运用 Minitab软件对微机 电系统 (MEMS)微传 声器频响、灵敏度测量系统的偏倚及线性进行 了分析 ，提 出了复合测量系统的概念 ，并对此进行 了有效分析 ，根据 研究结果，找到了运用整体偏倚值对测量系统进行修正的方法，并用 Minitab对改善后的测量系统进行了预测，应 用于生产实际后，提高了MEMS微传声器测量系统测试数据的可靠性。 关键词 ：Minitab；微机 电系统 (MEMS)；复合测量系统；测试数据 ；偏倚 ；线性分析 中图分类号：TN641+2 文献标识码 ：A StudyonLinearityandBiasofM EM SComplexM easurementSystem BasedonM initab YUJinwei (CollegeofMachineryandVehicleEngineering，WeifangUniversity，W eifang261061，China) Abstract：Inthispaper，theconceptandmethodofbiasandlinearityanalysisofmeasurementsystem areintro— duced，theMinitabsoftwareisusedtoanalyzethebiasandlinearityofthefrequencyresponseandsensitivitymeas— urementsystem ofMEMSmicrophoneandtheconceptofcomplexmeasurementsystem hasbeenputforward，andit iseffectivelyanalyzed．A methodusingthewholebiasvaluetocorrectthemeasurementsystem hasbeendiscovered andtheperformanceoftheimprovedmeasurementsystem hasbeenforecastedbyusingMinitabsoftware．Therelia— bilityofthemeasureddataofMEMSmicrophonemeasurementsystem hasbeenimprovedgreatly． Keywords：M initab；M EMS；complexmeasurementsystem ；measuredata；bias；linearityanalysis 0 引言 起 的误差 ，并得到测试数据 中所隐含的信息，从而提 高测试数据的可靠性。因此为了避免可能存在的潜 在产 品的制造过程中会产生大量数据 ，这些数 在质量问题 ，所以必须对相关的 “测量系统”进行分 据一般通过测量产生 。测得 的各种数据均为测量 析 。而偏倚及线性分析是测量系统分析的前提和基 值，真值是不可知的，测量值=真值+测量误差。测 础 ，本文重