光伏电池车间工艺流程.ppt

丝网印刷 图17. Baccnni 的丝网印刷机 丝网印刷 图18. Despatch的烧结炉 丝网印刷 上料---第一道印刷---烘箱---第二道印刷----烘箱-----烘箱---第三道印刷---烧结----下料 背电极印刷及烘干 浆料：Ag /Al浆 如Ferro 3398 背电场印刷及烘干 浆料：Al浆 如Analog paset-12 正面电极印刷 浆料：Ag浆 如Dupont PV147 丝网印刷的工艺流程 丝网印刷 Al/Ag: 背电极，收集载流子 良好的欧姆接触和焊接性能， 长期附着性能很好 Al背场：形成背电场，降低硅铝 合金界面的复合 Ag: 前电极，收集电流 栅线间距，线宽，高宽比 丝网印刷 干燥硅片上的浆料，燃尽浆料的有机组分，使浆料和硅片 形成良好的欧姆接触 相对于铝浆烧结，银浆的烧结要重要很多，对电池片电性能影响主要表现在串联电阻和并联电阻，即FF的变化。 铝浆烧结的目的使浆料中的有机溶剂完全挥发，并形成完好的铝硅合金和铝层。局部的受热不均和散热不均可能会导致起包，严重的会起铝珠。 背面场经烧结后形成的铝硅合金，铝在硅中是作为P型掺杂，它可以减少金属与硅交接处的少子复合，从而提高开路电压和短路电流，改善对红外光的响应 烧结的目的 烧结 Z1+Z2: Burn out solvent Z3+Z4: Form Al-Si alloy Z5+Z6: Form front contact 烧结后的氮化硅表面颜色应该均匀，无明显的色差. 背场无铝珠 电池最大弯曲度不超过1mm 性能指标 图19. 典型的烧结曲线 Solar Cell Production Process 太阳能电池的基本结构 图1. 太阳能电池的结构 太阳能电池的基本结构 图2. 太阳能电池的核心——PN结 太阳能电池的原理 P 型半导体 N 型半导体 RSH VOC ISC RS The slopes of these lines are characteristic resistances. 太阳能电池的重要参数 Isc, Voc, Rs, Rsh, FF, Eff 衡量电池好坏的重要指标 图3. 标准IV 曲线 Saw damage etch /Texture/ Cleaning RENA InTex POCl3-Diffusion (45-60 W/sq) Edge Isolation / P-Glass etching RENA InOxSide (InOx) Screen printing of Ag-contacts Screen printing of Al/Ag-pads Screen printing of Al-contact Firing of contacts PECVD SiNx-deposition 太阳能电池的制作工序 Incoming wafer inspection 来料检验 1）检验来料的品种。 2）检验来料的外观，包括厚度，表面等。 3）检验来料的电学性能,包括电阻率，少子寿命等。 厚度：200±40 um 表面：微裂纹等等 电阻率：0.5-6Ω 少子寿命：0.5-20us 去损伤层及制绒 图4. 捷佳创清洗机 去损伤层及制绒 图5. Rena InTex 去损伤层及制绒 制绒的三个要点 1）去除硅片表面的机械损伤层 2）清除表面氧化物和金属杂质 3）形成起伏不平的绒面，增加硅片对太阳光的吸收 硅片 机械损伤层 制绒的光学原理 陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。 图6. 陷光原理 陷光原理 去损伤层及制绒 单晶硅片 碱性制绒（NaOH+IPA) 各向异性 降低反射率到12%-14% 单面减薄：9um 多晶硅片 酸性制绒 (HNO3+HF) 各向同性 降低反射率到24%-26% 单面减薄 4.5um 扩散 图7. 48所扩散炉 扩散 图8. Centrotherm 扩散炉 扩散 1）三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 Tempress, Centrotherm, 48所, 七星 2）喷涂磷酸水溶液后链式扩散 Despatch, Schmid链式扩散炉 目前大部分国内太阳能电池生产厂都使用的第一种方法 扩散的目的 扩散的方法 在晶体内部实现P型和N型半导体的接触，从而得到PN结 扩散 POCl3磷扩散原理 POCl3在高温下与氧气反应生成五氧化二磷（P2O5）和氯气（CL2)，其反应式如下： 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成