来自芳香石墨碳薄膜的结构和显微的聚酰亚胺薄膜UPILEX.pdfVIP

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2017-06-17 发布于浙江
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Carbon Vol.36, No. 7-8, pp. 1113- 1117, 1998 0 1998 ElsevierScienceLtd Pergamon Printed in Great Britain.Allrights reserved 000%6223/98$19.00+ 0.00 PII: SOOO6223(98)00085-2 STRUCTURE AND MICROTEXTURE OF GRAPHITIZED CARBON FILM DERIVED FROM AROMATIC POLYIMIDE FILM UPILEX Y. HISHIYAMA,~‘*A. YOSHIDA~ and M. INAGAKI~ “Faculty of Engineering, Musashi Institute of Technology, I-28-l Tamazutsumi, Setagaya-ku, Tokyo 158,Japan bFaculty of Engineering, Hokkaido University, Kita-ku, Sapporo 060,Japan (Received 10 November 1997; accepted in revisedform 7 January 1998) Abstract-The structure and microtexture of the 3000°C treated carbon film prepared from a polyimide film Upilex with a thickness of 50 pm (Upilex-3000) were studied by SEM observation and X-ray diffraon measurements. The thickness of cpilex-3000 was 30 pm. Observation of the fracture surface of Unilex-3000 bv SEM indicates three kinds of microtextures: (1) skins of 230300nm in thickness with