VTS 的FCCL 技术数据.PPTVIP

VTS 软板薄膜溅镀轮设备 VTS’s 软板薄膜溅镀滚轮系统设备可依据客户个别规格需求转换设计为工业制品 . 呈现在这份手册中这套系统, 让使用者能使用现行科技组件研发程序, 进行生产. VTS’s多层高真空网状/滚轮系统设备设计为镀 Polyimide Film, Mylar, foil 和其它薄膜塑料或金属材料可以储存在连续卷状滚轮型态. 典型的制程在高真空枪膛含括溅镀源头, 电子光束枪, 热源, 基板温度, 离子束源与电浆制程条. VTS软板薄膜溅镀滚轮设备 介 绍 AWC-550 溅镀滚轮设备 产 品 讯 息 技 术 使用 AWC-550, 金属将被储存在一端薄膜, 以氩气与活跃气体导入形成高比率离子光束制作多层膜. 设 备 技 术 多层-内膛-系统由线圈, 预处理, 电镀, 中间即筒 在电镀过程中, 有一个电镀圆桶做为冷却薄膜用