复杂三维超微图形的复制 - CORE.PDFVIP

第 卷 第 期 仪 器 仪 表 学 报 附 年 月 复杂三维超微 图形 的复制 ’ 加工技术 的困难及对策 田 昭武 田 中群 林仲华 谢兆雄 固体表 面物理化学 国家重 点 实验室 , 厦 门大学 物理 化学研 究所 摘要 现 有用 于批量 复制 的微 加工 技 术较 难 用 于 加 工 复杂 的三 维 图形 元件 如微 凹 凸面镜 、 。 微 锥 形齿轮等 主要原 因是 只能 加工 简单三 维 图形 只能控制刻蚀深度 , 刻蚀后 的表面仍 。 留 刻 面 的 上 问 , 首 出用 于三 超 微 图形 保 着 蚀前 的表 粗糙度 针对 述 题 本课题组 先提 维 复制 加工 的 约 束刻 蚀剂层 技术 声 , 简称 , 该技 术具有距 离选 择性 并 。 能控制保 留量 , 可望 用于 批量复制加工微米乃 至 纳米级 的复杂三 维 图形元 件 引 言 。 , 刻蚀微 加工技术对微 系统技术 的发展具有 十分重要 的意 义 是微 系统技术 的关键 之 一 传 统湿法 化学刻蚀 中的刻蚀剂分子 的扩散 是各 向同性 的 , 因而 不 能直接 应 用 于 高分辨 图形 的刻 蚀 。 光刻蚀技术在 曝光 显影后形 成 的具有二维 图形 的抗蚀剂层将基 片 的某些 部分 的表 面保护 起来 , 然后进行化学 或物理刻 蚀可得 到 高分辨 图形 的复制 , 因而成为现代集成 电路制造工 艺 的