晶圆_芯片清洗用水解决方案 - 关于中霖.PDFVIP

中霖中科-中国第一家水资源深度净化的综合性企业 晶圆_芯片清洗用水解决方案 现在人们对于各方面的要求很多，尤其是在节能环保方面。晶圆 _芯片清洗用水就是针对于高科技产业，比如人们最为熟悉的电子行 业的各种产品，以下介绍几种解决方案的工艺流程。 晶圆_芯片清洗用水工艺流程 1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式， 其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤 器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→ 后置保安过滤器→用水点。 2、采用反渗透水处理与离子交换进行组合制备电子工业超纯水 的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→ 精密过滤器→中间水箱→反渗透→混床(复床)→超纯水箱→超纯水 泵→后置保安过滤器→用水点。 3、采用反渗透与电去离子(EDI)进行搭配制备电子工业超纯水的 的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发 展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过 滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透→电去离子 (EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。 地址:合肥市高新区望江西路800号创新产业园A4楼10层 （231283） 1 Email:sales@ 业务咨询电话:0551 中霖中科-中国第一家水资源深度净化的综合性企业 晶圆_芯片清洗用水工艺比较 目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工 艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配 衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面： 1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方 少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境 有一定的破坏。 2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换，其特点为初 投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子再生周期相对要长，耗费 的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的 破坏性。 3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是 目前制取超纯水最经济，最环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸 碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于 初投资相对以上两种方式过于昂贵。 晶圆_芯片清洗用水解决方案优势 晶圆_芯片清洗用水解决方案设有液位控制系统、高低压水泵均 设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC 可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和 客户要求相统一的方法，其它同类产品相比较，具有更高的性价比和 可靠性。 地址:合肥市高新区望江西路800号创新产业园A4楼10层 （231283） 2 Email:sales@ 业务咨询电话:0551 中霖中科-中国第一家水资源深度净化的综合性企业 地址:合肥市高新区望江西路800号创新产业园A4楼10层 （231283） 3 Email:sales@ 业务咨询电话:0551