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有機薄膜電晶體概論 簡介 在彩色液晶平面顯示器之中 ，利用非晶質矽薄膜電晶體(α-Si TFT)作為驅動元件 的主動矩陣驅動型液晶平面顯示器的應用領域 ，乃是以筆記型電腦的用途為主要 目的 ，過去十年以來 ，薄膜電晶體的材料都以無機材料為主 ，主要原因就是有機 半導體材質的載子移動率(Mobility)相對於無機材料而言太低，因此有機薄膜電 晶體（Organic thin film transistors 簡稱 OTFT ）的性能無法達到如無機電晶體(如 矽、鍺)般的表現 ，且兩者的載子移動率差距達 3 個 order 以上，故 OTFT 不適合 應用於需要高切換速率的裝置上。 圖一: mobility for OTFTs 然而 ，由於 OTFT 的製程特性以及可彎曲的特性 ，展現出了它在某些顯示器上的 競爭力 ，如 ：使用液晶畫素(AMLCDs)或是有機發光二極體(AMOLEDs)的主動式 矩陣平面顯示器(Active-Matrix Flat-panel Displays 簡稱 AMFPDs) 。目前來說，濕 式氧化的非晶質矽層(a-Si:H)是最常使用於 AMLCDs 的背板 TFT 上的材料 ，性能 良好的 AMOLED 通常也需要高性能的多晶矽 TFT ，但是這方面的研究還在進行 中，同時改善 OTFT 及 OLED 的效率後將能滿足此一需求。 OTFT 也可以應用於電子書 、電子紙張或電子識別證的主動式矩陣驅動中 ，其中 電子紙張(electric paper)是由含有電泳染料的微膠囊(microcapsules)畫素所組成的 可捲曲式顯示器。 圖二:polycarbonate 基板之 TFT 裝置 OTFT 的挑戰 OTFT 要與發展得相當成熟的 TFT 競爭的話，有三種方法： 1. 以更優越的性能表現取勝目前 TFT 所能提供的性能。 2. 利用 OTFT 獨特的特性創造出 TFT 所無法製造的產品，如：可捲式顯示器。 3. 利用比起 TFT 製程較低的成本。 生產 OTFT 面臨的兩大挑戰，分別是材料與製程的改變。 首先是材料方面，從過去 TFT-LCD 採用的非晶矽（Amorphous ）或多晶矽 （Poly-Silicon ）等無機材料（Inorganic Material ），轉變成有機材料（Organic Material ）。有機半導體材料一般可分三類：小分子（Small Molecular ）、高分子 （Polymer ）與有機金屬錯合物（Complex ）。由於有機材料的結合比矽更具有延 展性與彈性 ，因此可製作於塑膠基板上 ，成為可撓曲的顯示器 。其次是製程方面 ， 過去 TFT-LCD 採用的是類似半導體的製程 ，但 OTFT 則是採用印刷製程（Printing Process ），包括網印 （Screen Printing ）、噴墨印 （ Inkjet Printing ）及接觸印 （Contact Printing ）等方法來製作有機薄膜電晶體，應用於 OTFT 的有機半導體材料的高分子 （polymers ）和非晶型分子（amorphous molecular ）等，可利用溶液配合噴墨印刷（ink-jet printing ）的方式，做大面積的旋塗（spin-coating ）來製作半導體層，因此可降低生產成 本。 。前者在製程溫度上高達攝氏200~400 度，但 OTFT 的製程則不到攝氏 100 度。 材料 製程 製程溫度 製作成本 非晶矽（Amorphous）或多 TFT 類似半導體製程 高溫（200~400 度） 昂貴 晶矽（Poly-Silicon） 小分子（Small Molecular）、高分子 OTFT 印刷製程 較低（100 度） 較便宜 （Polymer）、有機金屬錯 合物（Complex） 有機半