原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
有机气相沉积中薄膜生长的模拟研究
:
陈文彬 等 有机气相沉积中薄膜生长的模拟研究 ２１
有机气相沉积中薄膜生长的模拟研究∗
, , , , ,
陈文彬 李国栋 胡 琛 闫思家 芮大为 赵启义
( , , )
电子科技大学 光电信息学院 四川省显示科学与技术重点实验室 四川 成都 ６１００５４
: .
摘 要 通过对有机气相沉积中气体的传输过程进 孔的沉积过程 通过仿真可以更直观地了解在加掩膜
, . ,
行模拟 略述了OVPD传输的基本机制 利用蒙特卡 的条件下不同的沉积条件对薄膜图案的影响 从而也
洛法对有机蒸气通过掩膜孔的动力学沉积过程进行仿 为薄膜性能的改善提供了依据.
, ,
真 仿真结果表明薄膜的形状受沉积参数的影响 例
, ( )、
如 分子平均自由程 沉积压强 掩膜板的尺寸以及掩
. ,
膜板至基板的距离 分析表明 通过缩小掩膜板至基
,
板的距离 同时减小沉积压强可以提高所成薄膜图案
,
的分辨率 减小掩膜板的厚度可以提高材料的使用效
率.
: ; ; ;
关键词 有机气相沉积 蒙特卡洛 沉积参数 分辨率
中图分类号: 文献标识码:
TB４３ A
文章编号: ( )
１００１Ｇ９７３１２０１２０１Ｇ００２１Ｇ０３ 图１ OVPD过程原理图
Fi１SchematicdiaramoftheOVPD rocess
引 言 g g p
１
２ OVPD中分子传输机制的模拟
有机小分子薄膜广泛应用于有机电致发光器件
( )、 ( )
OLED 光电池以及薄膜晶体管 TFT 等有机光电
,
在一个简化的 OVPD模型中 利用 Fluent６．２．１６
[]
１
器件 .而这些有机薄膜一般是在一个高真空的环境
,
的层流模型对气体的传送机制进行了模拟 得到
( ) ,
中利用蒸镀 VTE 的方式来得到高纯度 性能优良的
.
中流场与温度场的耦合 仿真结果如图 所示
文档评论（0）