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深圳市光大激光科技股份有限公司 乐总工 2012年11月08日 17:00-18:30 培训目标 激光原理补充 介绍公司所用的部分激光器和它们的原理 下周将介绍激光加工原理 目录 激光原理补充 固体激光器 二氧化碳激光器 光纤激光器 固体激光器 DPSSL：diode-pumped solid state laser 波长：1064nm，532nm，355nm 二氧化碳激光器 波长：10.6μm 光纤激光器 波长：1064nm，1070-0180nm，532nm，355nm Coherent Inc.美国相干 i.e. AVIA系列 Advanced Optowave Corp.美国光波 i.e. AWAVE系列 * 激光原理补充-横电磁波模 上：不同TM横电磁波模 下：高斯光束TM00光强分布 TEM: Transverse Electromagnetic Mode 横电磁波模：mn数字代表节点数m-1和n-1 高斯光束：TM00 激光加工中的最常用的模 横截面光强成高斯分布 优点：能量集中，经过一般光学器件后仍是高斯光束 光束腰宽：光强为中心光强的1/e2=13.5%处的对应直径值 “Fundamentals of Light Sources and Lasers”, 2004, Mark Csele 激光原理补充-聚焦光斑计算 聚焦后的高斯光束 透镜聚焦光斑大小的计算： 瑞利距离（聚焦深度）的计算： λ：激光波长 f：聚焦透镜焦距 M2：光束质量因子，定义为光束发散角除以衍射极限下的发散角 D0：入射光在透镜入射处光斑大小 “Practical Considerations in the Design of Visible and UV Laser Based Micromachining Systems”，Cohent 公司部分激光器介绍 固体激光器供应商 固体激光器原理-端面泵浦激光器 “High Power Q-switched TEM00 Mode Diode-Pumped Solid StateLasers with 30W Output Power at 355nm” 2006. C. X. Wang 增益介质： Nd:YAG 掺钕钇铝石榴石 neodymium-doped yttrium aluminum garnet Nd:YVO4 掺钕钒酸钇 neodymium-doped yttrium vanadate 上：端面泵浦激光器；下：倍频光路 泵浦光源：二极管泵浦 波长：1064nm，经非线性晶体（如LBO）倍频至532nm(SFG)，355nm(THG) 固体激光器原理-Nd：YAG能级图 “Laser Fabrication and Machining of Materials”, 2008,N.B.Dahotre Nd:YAG激光器中钕离子能级示意图 Nd:YAG 四能级激光器，容易实现粒子数反转 增益介质：取代钇铝石榴石 （Y3Al5O12）中Y3+的Nd3+ 受激辐射的能级跃迁：4F3/2 level 到 4I11/2 可以连续出光，也可以调Q脉冲出光 固体激光器原理-泵浦光谱和YAG吸收谱 “Fundamentals of Light Sources and Lasers”, 2004, Mark Csele “GaN-Based Laser Diodes Towards Longer Wavelengths and Short Pulses” 2012 W.G.Sheibenzuber YAG晶体吸收谱 闪光灯泵浦发射光谱(氙灯和氪灯） 紫光激光二极管发射光谱 激光二极管泵浦可以更好的对增益介质进行激发。 也可以选择性的激发增益介质到指定能级 固体激光器原理-品质因数 品质因数 （Q因数） 两种定义为：1. 谐振腔里储存能量与每周期损失能量的比值的2π倍 2. 谐振频率与谐振半高宽的比值 调Q激光： 一开始Q开关打开，Q因数很低，谐振腔能量损失很大，激光阈值高，不会发生受激辐射，使得谐振腔内可以达到很大的粒子反转数 Q开关关闭后，谐