膜片式微型犉 犘腔光纤压力传感器 - 光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ １２ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．１２ 　 　 　　 　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ １２ Ｄｅｃ．２００９ 　 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９１２２８８７０６ 　 膜片式微型犉犘腔光纤压力传感器 于清旭，贾春艳 （大连理工大学 物理与光电工程学院，辽宁 大连 １１６０２４） 摘要：为满足工业和生物医学领域对微型化传感器的需求，实验研究了基于 （ ）干涉仪原理的膜片式微型 ＦａｂｒＰｅｒｏｔＦＰ ｙ 光纤压力传感器的制作工艺。在单模光纤端面上直接熔接外径约 １７５ ｍ的毛细石英管，在石英管的另一端制作敏感膜 μ 片，从而使光纤端面与膜片内表面之间形成 ＦＰ干涉腔。采用电弧熔接、切割、腐蚀膜片等方法制作了石英膜片式压力 传感器，该传感器在 内 腔的腔长变化灵敏度为 ／ ，压强测量分辨率为 ，并具有很小 ０ ３．１ＭＰａ ＦＰ ４１．０９ｎｍ ＭＰａ ６８１Ｐａ ～ 的温度敏感系数。在 ，温度交差敏感 ／ 。为了克服石英膜片减薄困难的缺点，选用聚合物材料 ３０ １４０℃ １．０７ｋＰａ℃ ～ ＜ （ ）作为压力敏感膜片制作了 传感器。室温下在 ， 膜片的 腔长变化灵敏度达到 ＰＳＱ ＦＰ ０．１ ２．１ＭＰａＰＳＱ ＦＰ １８８６．８５ ～ ／ ，压强测量分辨率达到 ，十分接近人类或其他动物的体内压强测量水平。 ｎｍ ＭＰａ ５３Ｐａ 关 键 词：光纤ＦａｂｒＰｅｒｏｔ腔；微型压力传感器；石英膜片；聚合物膜片 　 　 ｙ 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ２５３ Ａ 　　 犇犻犪犺狉犪犿犫犪狊犲犱犿犻狀犻犪狋狌狉犲犳犻犫犲狉狅狋犻犮 狉犲狊狊狌狉犲狊犲狀狊狅狉狑犻狋犺犉犘犮犪狏犻狋 狆 犵 狆 狆 狔 ， ＹＵＱｉｎｘｕ ＪＩＡＣｈｕｎａｎ