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薄膜体声波谐振器微加速度计惯性力敏特性 - 太赫兹科学与电子信息学报
第 13 卷 第 2 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1.13，No.2
2015 年 4 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technol ogy Apr.，2015
文章编号：2095-4980(2015)02-0337-05
薄膜体声波谐振器微加速度计惯性力敏特性
1,2 2,3* 1 1 1
何婉婧 ，高 杨 ，李君儒 ，黄振华 ，蔡 洵
(1.西南科技大学 信息工程学院，四川 绵阳 621010 ；2 .中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳 621999 ；3.重庆大学
新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室，重庆 400044)
摘 要 ：研究了由硅微质量块- 悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝(AlN) 薄膜体声波谐振器(FBAR)
检测元件集成的 FBAR 微加速度计表头的惯性力敏特性。采用有限元(FEA)静力学仿真，得到惯性
力载荷作用下硅微悬臂梁上的应力分布；选取最大应力值作为载荷，基于第一性原理计算纤锌矿
AlN 的弹性系数与应力的关系式，预测惯性力载荷作用下 AlN 弹性系数的最大变化量；采用谐响
应分析，预测 FBAR 微加速度计的加速度-谐振频率偏移特性。分析得到：惯性力载荷作用下，
FBAR 微加速度计的谐振频率向高频偏移，灵敏度约为数 kHz/g ；其加速度增量-谐振频率偏移特
性曲线具有良好的线性度。
关键词 ：微电子机械系统；薄膜体声波谐振器；微加速度计；力敏特性
中图分类号 ：TN102 ；TB934 文献标识码 ：A doi ：10.11805/TKYDA201502.0337
Inertial force sensing characteristics of Film Bulk Acoustic wave Resonators
micro-accelerometer
1,2 2,3* 1 1 1
HE Wanjing ，GAO Yang ，LI Junru ，HUANG Zhenhua ，CAI Xun
(1.School of Information Engineering，Southwest University of Science and Technology，Mianyang Sichuan 621010，China；
2.Institute of Electronic Engineering，China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621999，China；3.National Key
Laboratory of Fundamental Science of Micro/Nano-Device and System Technology，Chongqing University，Chongqing 400044，China)
Abstract： The inertia force sensi
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