一种柔性薄膜太阳审定授权.pdf

SooPAT 一种柔性薄膜太阳能电池制备方 法 申请号：201010588913.1 申请日：2010-12-15 申请(专利权)人上海理工大学 地址 200093 上海市杨浦区军工路516号 发明(设计)人门传玲 田子傲 安正华 杨斌 李红琴 主分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类号 H01L31/18(2006.01)I 公开(公告)号102104087A 公开(公告)日2011-06-22 专利代理机构 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人 吴宝根 注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利 (19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN102104087B* (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 102104087 B (45)授权公告 日 2012.11.07 (21)申请号 201010588913.1 审查员 胡贺伟 (22)申请 日 2010.12.15 (73)专利权人 上海理工大学 地址 200093 上海市杨浦区军工路516 号 (72)发明人 门传玲 田子傲 安正华 杨斌 李红琴 (74)专利代理机构 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人 吴宝根 (51) Int.C l. H01L 31/18 (2006.01) (56)对比文件 CN 101330112 A,2008.12.24, US 7652292 B2,2010.01.26, US 2008/0179547 A1,2008.07.31, CN 1199507 A,1998.11.18, CN 101136443 A,2008.03.05, 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 2 页 权利要求书1 页 说明书3 页 附图2 页 (54) 发明名称 一种柔性薄膜太阳能电池制备方法 (57) 摘要 本发明涉及一种柔性薄膜太阳能电池制备方 法，在传统的薄膜太阳能电池制作基础上，其中关 键技术就是在硬性衬底和薄膜太阳能电池之间生 长牺牲层。利用共蒸发、溅射或化学技术在硬性 衬底上形成一层牺牲层。通过剥离处理牺牲层使 得薄膜太阳能电池从硬性衬底上转移到柔性衬底 上。具有高效率、高稳定的优势，又发挥了柔性衬 底节约材料容易加工的特点，减少工艺步骤，降低 成本，适合大规模生产。 B 7 8 0 4 0 1 2 0 1 N C CN 102104087 B 权 利 要 求 书 1/1 页 1. 一种柔性薄膜太阳能电池制备方法，具体包括以下步骤 ： a) 牺牲层制作：采用真空蒸发法在玻璃、硅片硬质材料衬底上蒸发、溅射沉积或化学 沉积方法制备10-1000nm 的牺牲层 ； b) 太阳能电池薄膜制作：采用溅射或真空蒸发或化学合成方法在长有牺牲层的硬质 衬底上生长高性能薄膜太阳能电池结构； c) 和柔性衬底粘合：将柔性衬底在干燥的环境下与步骤2）所得薄膜太阳能电池结构 粘合；所述粘合在室温或烘烤条件下进行，