第章透射电子显微镜.pdf

第二章 透射电子显微镜 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 透射电子显微镜的结构与成像原理 第二章 透射电子显微镜 2.1 透射电子显微镜的结构与成像原理 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜 聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。 ⎧ ⎧照明系统 ⎪ ⎪ ⎪ 电子光学系统 成像系统⎨ ⎪⎪ ⎪⎩观察记录系统 ⎪ ⎧由机械泵和扩散泵完成，达到10－3 Pa 透射电镜⎨⎪⎪ 真空系统⎨⎩离子泵可以达到10－5 Pa ⎪⎪供电控制系统⎨⎧电子枪加速电子用小电流高电压电源 ⎩ 磁透镜用大电流低电压电源 ⎪ EDS X ⎪ ⎧ （射线能谱） ⎪ 附加仪器系统⎨⎪ WDS （光谱仪） ⎪ ⎪ ⎪ EELS （电子能量损失谱） ⎩ ⎩ 第二章 透射电子显微镜 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 透射电子显微镜的结构与成像原理 电子 光学系统 （镜筒） 是其核 心，它的 光路图与 透射光学 显微镜相 似，如图 所示，包 括：照明 系统；成 像系统； 观察记录