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2017-06-18 发布于天津
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CFD-ACE在电镀模拟中的应用

CFD-ACE+在电镀模拟中的应用概况： CFD-ACE+能精确模拟电镀过程，并且涵盖了复杂多核素电气化学的影响作用。这使得 CFD-ACE+可以有效地应用于半导体加工和传统的电镀工业以及无电镀膜、侵蚀分析等领域。典型的电镀源发生器构造 CFD-ACE+模拟计算的电压分布状况 CFD-ACE+模拟的瞬态层截面外形参数和对比特色：模拟多核素转移、多步表面反应、多核素电气化学沉积模型中计入了添加剂、脉冲/反脉冲在电镀过程中的影响作用在电气化学反应表面上，可以限制电流分布，选择初层镀膜、二次镀膜或三次镀膜提供尺寸因子，以便对高长宽比表层建模,模拟绝缘层表面沉积层的瞬时生长过程用户收益：提高沉积质量，有效控制电镀层厚度和形状，提高生产率可以优化设计反应器几何外形和制造工艺，提高产品质量提供侵蚀分析，计入电流波形和添加剂作用，提高产品可靠性、扩展其生命周期有关CFD- ACE+详细介绍、技术支持及提供试用软件，请您联系CAEDA公司：。 caeda@