概述------电子与试样作用产生的信息.PPTVIP

电子显微分析 概述---显微镜的分辨率 通常把两个Airy斑中心间距等于Airy斑半径时，物平面上相应的两个物点间距（Δr0）定义为透镜能分辨的最小间距，即透镜分辨率 对于光学透镜，当n?sinα做到最大时（n≈1.5，α≈70-75°） 概述---电子波长 根据德布罗意（de Broglie）的观点，运动的电子除了具有粒子性外，还具有波动性。这一点上和可见光相似。电子波的波长取决于电子运动的速度和质量，即 式中，h为普郎克常数；m为电子质量；v为电子运动速度，它和加速电压U之间存在如下关系： 即 概述------不同加速电压下的电子波波长 概述------电磁透镜 轴对称的非均匀电场和磁场则可以让电子束折射，从而产生电子束的会聚与发散，达到成像的目的。人们把用静电场构成的透镜称之“静电透镜”；把电磁线圈产生的磁场所构成的透镜称之“电磁透镜”。 概述-----电磁透镜的像差及其对分辨率的影响 若按式 以日本电子JEM-2010HR透射电镜为例，其加速电压达是200KV，若分辨率是波长的一半，那么它的分辨率应该是0.00125nm；实际上它的点分辨率是0.23nm。 概述------球差 球差是因为电磁透镜近轴区域磁场和远轴区域磁场对电子束的折射能力不同而产生的。 原来的物点是一个几何点，由于球差的影响现在变成了半径为ΔrS的漫散圆斑。 球差是像差影响电磁透镜分辨率的主要因素，它还不能象光学透镜那样通过凸透镜、凹透镜的组合设计来补偿或矫正。 概述------像散 像散是由透镜磁场的非旋转对称引起的像差。当极靴内孔不圆、上下极靴的轴线错位、制作极靴的磁性材料的材质不均以及极靴孔周围的局部污染等都会引起透镜的磁场产生椭圆度。 像散是可以消除的像差，可以通过引入一个强度和方位可调的矫正磁场来进行补偿。产生这个矫正磁场的装置叫消像散器。 概述------色差 色差是由于成像电子的能量不同或变化，从而在透镜磁场中运动轨迹不同以致不能聚焦在一点而形成的像差。 引起电子能量波动的原因有两个，一是电子加速电压不稳，致使入射电子能量不同；二是电子束照射试样时和试样相互作用，部分电子产生非弹性散射，致使能量变化。 概述------景深 电磁透镜的景深是指当成像时，像平面不动（像距不变），在满足成像清晰的前提下，物平面沿轴线前后可移动的距离 概述------焦长 焦长是指物点固定不变（物距不变），在保持成像清晰的条件下，像平面沿透镜轴线可移动的距离。 概述------电子与试样作用产生的信息 具有一定能量的电子，照射固体样品时，与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射，激发样品产生多种物理信号。 概述------电子与试样作用产生的信息 概述------电子与试样作用产生的信息 概述------电子与试样作用产生的信息 概述------电子与试样作用产生的信息 透射电镜-------结构 通常透射电镜由电子光学系统、电源系统、真空系统、控制系统组成，其中电子光学系统是电镜的主要组成部分。 透射电镜-----照明系统 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。 电子枪是发射电子的照明光源。 聚光镜是把电子枪发射出来的电子会聚而成的交叉点(50μm)进一步会聚后(2-10μm)照射到样品上。 照明系统的作用就是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 透射电镜-----成像系统 成像系统主要由物镜、中间镜和投影镜组成。 透射电镜-----成像系统 若把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作。若把中间镜的物平面和物镜的后焦面重合，则得到一幅电子衍射花样，这是电子显微镜中的电子衍射操作。 透射电镜-----成像系统 投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上。 透射电镜-----样品制备 电子束的穿透能力比较低，用于透射电子显微镜分析的样品必须很薄。一般在50～500nm之间。 （二）复型法 所谓复型，就是把样品表面形貌复制出来。只能用于试样形貌的观察。 样品放入真空镀膜装置中，在垂直方向上向样品表面蒸镀一层厚度为数十纳米的碳膜。 然后把样品放入配好的分离液中进行电解或化学分离。。 特点是在电子束照射下不易发生分解和破裂，分辨率可比塑料复型