第三章第三节压力检测仪表.pptVIP

* 过程参数测量仪表 * S N 霍尔元件输出的电势对应于自由端位移，给出被测压力值。 特点： 结构简单、灵敏度高，寿命长。对外部磁场敏感，耐振性差。 局部放大图见右图 * 过程参数测量仪表 * 二、力平衡式压力计 采用反馈力平衡的原理，反馈力的平衡方式可以是弹性力平衡或电磁力平衡等。基本结构如图。 原理： 敏感元件 力平衡系统 偏差 检测器 放大器 显示 机构 反馈力发生机构 感受被测压力或差压，并将其转换为位移或力 力平衡系统被破坏，偏离原有平衡状态 检测平衡状态偏差值送入放大器 将信号放大并输出电流或电压信号 输出与被测压力或差压相对应的信号 反馈力或力矩发生机构产生反馈力，使仪表处于新平衡 * 过程参数测量仪表 * 1.应变式压力传感器 组成：应变元件与弹性元件配用 应变元件的工作原理：导体和半导体的“应变效应”（strain effect）。 三、压力传感器 定义：能够检测压力值并能提供远传信号的装置。 结构形式：应变式、压阻式、电容式、压电式、光电式、光纤式等许多种。 应变效应：即导体和半导体材料发生机械变形时，其电阻值将发生变化。实际的电阻应变片是一根电阻丝被弯曲而并行地排成栅形，贴在基板上成为电阻栅。 * 过程参数测量仪表 * 应变元件的结构： 根据被测介质和测量范围的不同而采用不同的型式，圆膜片(柱式压力传感器)、弹性梁和应变筒(筒式) 。 丝状、片状或体状。 应变丝或应变片与弹性元件的装配： 采用粘贴式或非粘贴式，在弹性元件受力变形时，应变元件也发生形变，其电阻值将有相应的改变。 测量方法： 采用4个特性相同的应变元件，粘贴在弹性元件的适当位置上(两个受拉，两个受压)，并分别接入电桥的4个臂，则电桥的输出信号可以反映被测压力的大小。 弹性元件的选择： * 过程参数测量仪表 * 2.压阻(piezo-resistance)式压力传感器 原理：基于半导体的“压阻效应”-当半导体的某一轴向受外力作用时，原子点阵排列规律发生变化导致载流子迁移率及浓度的变化，从而引起电阻率的变化。 结构：用集成工艺直接在硅平膜片上按照一定晶向制成扩散压敏电阻。 工作原理：硅平膜片在微小变形时有良好的弹性特性，当硅片受压后，它的变形使扩散电阻的阻值发生变化。其相对电阻变化可表示为： 式中πe为压阻系数，σ为应力。 * 过程参数测量仪表 * 测量电路-电桥：简单的压阻式压力传感器结构如图。 杯状硅膜片上用扩散工艺设有4个阻值相等的电阻，其配置位置按膜片上径向应力和切向应力分布情况确定（与晶体有关） 还可以在电桥上接入一温度补偿电阻 特点:灵敏度高，频率响应高；结构比较简单，可小型化；可用于静、动态压力测量；应用广泛，测量范围在0～0.0005MPa、0～0.002MPa、至0～210MPa；其精确度为±0.2%～±0.02%。 * 过程参数测量仪表 * 3.电容(capacitance)式压力传感器 测量原理：将弹性元件的位移转换为电容量的变化。 结构：图为一种两室结构。 对于差动平板电容器，其电容与板间距变化的关系可表示为： 特点:此电容量的变化经过适当的转换电路，可以输出标准信号（4～20mA）。这种传感器结构坚实，灵敏度高，过载能力大；精度高，其精确度可达±0.25%～ ±0.05%；可以测量压力和差压，仪表测量范围0～0.00001MPa至0～70MPa。 * 过程参数测量仪表 * 电容式差压变送器 高压侧进气口 低压侧进气口 电子线路位置 内部不锈钢膜片的位置 * 过程参数测量仪表 * 电容式差压变送器内部结构 1—高压侧进气口 2—低压侧进气口 3—过滤片 4—空腔 5—柔性不锈钢波纹隔离膜片 6—导压硅油 7— 凹形玻璃圆片 8—镀金凹形电极 9—弹性平膜片 10—? 腔 * 过程参数测量仪表 * 各种电容式差压变送器外形 * 过程参数测量仪表 * 各种电容式压力变送器外形（续） （参考丹东长隆 自控有限公司 资料） 法兰 * 过程参数测量仪表 * 各种电容式压力变送器外形（续） * 过程参数测量仪表 * 利用电容差压变送器测量液体的液位 差压变送器 施加在高压侧腔体内的压力与液位成正比： p =? g h * 过程参数测量仪表 * 电容差压变送器用于测量液体的液位 投入式水位计 * 过程参数测量仪表 * 5.压电(piezoelectricity)式压力传感器 工作原理：压电材料（石英、压电陶瓷、钛酸钡）的压电效应将被测压力转换为电信号的。它是动态压力检测中常用的传感器，不适宜测量缓变化的压力和静态压力。 压电效应：压电材料（具有压电效应的材料）受到外力作用时，不仅几何尺寸发生变化，而且内部极化，表面上还会有电荷出现，形成电