金属薄膜电阻率.docVIP

四．实验测量及数据处理： 数据记录表格 金属薄膜电阻率测量数据记录表(溅射时间4min) 膜厚d=532.8*10^-10m 电流I/mA 正向电压V+/mA 负向电压V-/mV 平均电压V/mV 0.3514 0.427 -0.425 0.426 0.4467 0.542 -0.54 0.541 0.5625 0.682 -0.681 0.6815 0.6885 0.835 -0.833 0.834 0.7995 0.992 -0.989 0.9905 0.9569 1.187 -1.184 1.1855 1.459 1.806 -1.808 1.807 2.951 3.652 -3.654 3.653 3.643 4.51 -4.511 4.5105 金属薄膜电阻率测量数据记录表(溅射时间8min) 膜厚d=1065.6*10^-10m 电流I/mA 正向电压V+/mA 负向电压V-/mV 平均电压V/mV 0.7294 0.184 -0.186 0.185 1.6518 0.418 -0.42 0.419 2.965 0.752 -0.752 0.752 4.64 1.177 -1.177 1.177 7.938 2.014 -2.015 2.0145 10.128 2.57 -2.57 2.57 11.401 2.893 -2