太阳电池超细栅电极喷印控制系统设计与实现.pdfVIP

信息与控制　　２０１６年　第４５卷　第３期：３７７～３８４ ＤＯＩ：１０．１３９７６／ｊ．ｃｎｋｉ．ｘｋ．２０１６．０３７７ 文章编号：１００２－０４１１（２０１６）－０３－０３７７－０８ 太阳电池超细栅电极喷印控制系统设计与实现 １，２ １ １ ２ 张　磊 ，朱云龙 ，王驰远 ，程晓鼎 １．中国科学院沈阳自动化研究所，辽宁 沈阳　１１００１６；２．中国科学院大学，北京　１０００４９ 基金项目：国家８６３计划资助项目（２０１４ＡＡ０５２１０２） 通信作者：张磊，ｌｅｉｚｈａｎｇ＠ｓｉａ．ｃｎ　　收稿／录用／修回：２０１５－０６－３０／２０１５－０８－２０／２０１５－１２－２４ 摘要 关键词 针对传统丝网印刷技术制造太阳电池金属化栅极容易造成基材破损，且制造 喷墨控制 的栅极精度和高宽比很难提高的问题，采用喷墨技术直接将纳米银墨水打印到太 流体体积法 阳电池基材上实现栅极金属化，并设计实现了太阳电池栅极喷印样机系统．样机 太阳电池 系统通过ＵＳＢ模块实现高速数据通信；两组动态随机存储器（ＳＤＲＡＭ）内存模块 栅极 构成乒乓操作，实现不间断打印；喷印控制模块采用现场可编程门阵列（ＦＰＧＡ）产 高宽比 生喷头复杂时序波形和压电驱动波形．基于流体体积法建立了微液滴喷射模型， 中图分类号：ＴＫ５１４ 研究了微滴喷射机制及压电驱动波形幅值对微液滴尺寸、速度一致性的影响，并 文献标识码：Ａ 进行实验验证．通过优化喷印分辨率和在线固化温度进行系统测试，结果表明， 多晶硅硅片固化温度８０℃条件下，随着喷印层数的增加，栅极高度线性增加，喷 印一层大约增高０．５ ｍ，栅极宽度基本维持在３５～４０ ｍ，打印层数６０～８０层 μ μ 时，形成三维形貌均匀的具有高“高宽比”的栅极． ＤｅｓｉｇｎａｎｄＩｍｐｌｅｍｅｎｔａｔｉｏｎｏｆＩｎｋｊｅｔＰｒｉｎｔｅｄＦｉｎｅＬｉｎｅＭｅｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ ＳｙｓｔｅｍｆｏｒＣｒｙｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎＳｏｌａｒＣｅｌｌｓ １，２ １ １ ２ ＺＨＡＮＧＬｅｉ ，ＺＨＵＹｕｎｌｏｎｇ，ＷＡＮＧＣｈｉｙｕａｎ，ＣＨＥＮＧＸｉａｏｄｉｎｇ １．ＳｈｅｎｙａｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｈｅｎｙａｎｇ１１００１６，Ｃｈｉｎａ； ２．ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００４９，Ｃｈｉｎａ Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ Ｔｈｅｕｓｅｏｆｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌｓｃｒｅｅｎｐｒｉｎｔｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｌｅａｄｓｔｏｔｈｅｂｒｅａｋａｇｅｏｆｓｉｌｉｃｏｎｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ．Ｍｏｒｅｏｖｅｒ， ｉｎｋｊｅｔｐｒｉｎｔｉｎｇ； ｓｕｃｈｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｉｓｕｎａｂｌｅｔｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｌｙｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎａｎｄａｓｐｅｃｔｒａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｆｉｎｅｌｉｎｅｍｅｔ ｖｏｌｕｍｅｏｆｆｌｕｉｄ； ｔａｌｉｚａｔｉｏｎ．Ｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｓｅｉｓｓｕｅｓ，ｉｎｋｊｅｔｐｒｉｎｔｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄｉｎｔｈｉｓｓｔｕｄｙｔｏｆａｂｒｉｃａｔｅｔｈｅｆｉｎｅｌｉｎｅ ｓｏｌａｒｃｅｌｌ； ｆｒｏｎｔｓｉｄｅｍｅｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ，ｗｈｉｃｈｃ