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非制冷微悬臂梁式红外焦平面探测器读出电路设计
第 29卷第 2 期 红 外 与 毫 米 波 学 报 Vo l. 29, No. 2
20 10年 4 月 J. Infrared M illim. W ave s Ap ril, 2010
文章编号 : 100 1 - 90 14 (20 10) 02 - 0097 - 05
非制冷微悬臂梁式红外焦平面探测器
读出电路设计
曹君敏 , 陈中建 , 鲁文高 , 张雅聪 , 雷 科 , 赵宝瑛
(北京大学 微电子学系 ,微电子器件与电路教育部重点实验室 ,北京 10087 1)
摘要 :针对非制冷微悬臂梁电容式红外探测器 ,设计了一款焦平面读出电路. 根据电路噪声建模与分析 ,对电路进
μ
行了优化设计以抑制噪声. 采用 0. 35 m 的 CMO S工艺设计 ,制造了 16 ×16读出电路原型. 测试结果表明 , 5V 电源
电压 、50Hz帧频下电路总功耗为 16. 5mW ,典型工作模式下线性度为 99. 2% ,通道一致性大于 97% ,等效输入噪声
电荷小于 150e.
关 键 词 :非制冷 ;红外焦平面阵列 ;微悬臂梁 ;读出电路
中图分类号 : TN 2 16 文献标识码 : A
D ESIGN O F READO UT INTEGRATED C IRCU IT FOR
UNCOOL ED INFRARED FOCAL PLANE ARRAY S
BASED ON M ICROCANT IL EVER
CAO JunM in , CHEN ZhongJ ian , LU W enGao, ZHAN G YaCong, LE I Ke, ZHAO B aoYing
( Key L aboratory of M icroelectron ic D evice s and Circu its, D ep artm en t of M icroelectron ic s,
Pek ing U n iversity, B eij ing 10087 1, Ch ina)
A b stract: A readout in tegrated circu it (RO IC) of focal p lane arrays for uncooled infrared detectors ba sed on m icrocantile
ver wa s de signed. The RO IC wa s op tim ized to reduce noise ba sed on noise modeling and analysis. A p rototyp e of 16 ×16
μ
RO IC wa s designed and fabricated by 035 m CMO S technology. The m easu rem ent re su lts show that the power dissip ation
is 165mW for a 5V supp ly vo ltage at 50Hz fram e rate, the linearity is 992% at typ ical mode s, the un iform ity is larger
than 97%
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