02第二章激光干涉测量技术.pptVIP

三、电子散斑干涉测量技术（ESPI） ESPI：主要相对于传统光学记录方式而言， 主要指CCD采集的 散斑场信息，这样可以进行电子处理或者计算机处理。 ESPI的特点： 电子技术提取信息，可以直接显示和保存散斑 图， 操作简单、实用性强，自动化程度高、可以进行静动态 测量，不需要复杂的显影、定影及复定位技术要求 普通散斑技术的特点： 与全息类似，需要干板记录，条纹的计 数和判向与传统干涉类似， 但可以测量较粗糙的表面 基本原理 if A 0 = a 1 e jφ 1 A r = a 2 e jφ 2 CCD light intensity : I = a 1 2 + a 2 2 + 2a 1 a 2 cos(φ 1 - φ 2 ) if Α 0 = a 1 e j(φ 1 +Δφ) I = a 1 2 + a 2 2 + 2a 1 a 2 cos(φ 1 - φ 2 + Δφ) 当Δφ=2kπ，光强不变 当Δφ=(2k+1)π，光强变化 最剧烈 其他, 变化程度与Δφ有关 CCD感受的光强为参考 光的余弦调制 基本原理 ESPI处理: 一般图像间相减,其结果: Δ I = 2a 1 a 2 [ cos(φ 1 - φ 2 ) - cos( φ 1 - φ 2 + Δφ )] 相减后, 光强分布仍然是Δφ的余弦分布函数, 即干涉 条纹与Δφ有关