激光干涉仪原理介绍.ppt

Renishaw plc Confidential 基本概念 – 激光干涉仪 什么是激光干涉仪： 利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。 基本概念— 激光的干涉特性 激光头 激光干涉仪测量与国际标准 激光头 垂直度测量 垂直度测量 分别测量2个轴的直线度，然后将两者进行运算，得出垂直度 平面度测量 线性测量光路图 移动反射镜 固定反射镜和分光镜 激光头 从激光头发出的激光被分光镜（A)分为2束光。 一束光经过固定的反射镜形成参考光. 另一束激光经过移动的反射镜 (C) 形成测量光. 反射光和测量光经过分光镜后汇合，并且彼此干涉. 线性测量原理 C (移动反射镜) A (分光镜) B (固定反射镜) 输出光 反射光 测量光 汇合光 线性测量原理 如果相位相反，则光波会相互抵消，表现为暗条纹。 如果两束光相位相同，则光波会叠加增强，表现为亮条纹。 相长干涉 相消干涉 参考光：固定不动 测量光：随着反射镜的移动而移动 移动反射镜 线性测量原理 激光干涉仪通过接收到的激光的明暗条纹变化，再通过电子细分，从而知道距离的细微和准确变化。 + - = + + = 线性测量 ISO 230-2 (1997)- International ASME B5.54 - U.S.A. BS 3800 - U.K. JIS B6330 - Japan GB 10931-89 - China VDI 3441 - Germany E60-099 - France 角度测量 安装方式 角度测量 固定干涉镜 移动反射镜 角度测量 激光头 固定干涉镜 移动反射镜 角度测量 直线度测量 直线度测量 直线度测量 激光头 Wollaston 棱镜 光线 1 光线 2 直线度反射镜 ? 直线度测量 激光头 直线度反射镜 Wollaston 棱镜 光线 1 (加长) 光线 2 (缩短) 移动方向 ? 直线度测量 The easiest way to understand how the system detects straightness deviations is to imagine what happens to the relative path lengths of Beam 1 and Beam 2 if the straightness reflector moves sideways As the reflector is moved upwards, Beam path 1 gets longer and Beam path 2 gets shorter This change in the relative path lengths causes a change in the interference signal intensity as the interference cycles between constructive and destructive interference. The detection unit detects these changes and converts them to a reading that is proportional to the change in relative path length. This is then multiplied by the appropriate factor to give the amount of sideways motion of the reflector. Straightness reading ? Change in path length 2 x Sin ( ? / 2 ) Step 1: Step 2: apply innovation * apply innovation ? * What is Degree of freedom (DOF)? Firstly, we need to know the property of Laser. You can imagine the laser like a sinusoidal wave The wavelength of laser is very small, it is 633nanometer. 1 nano is 10 power -9. Base on the small waveleng