陶龙忠-快速扩散与丝网印刷制备多晶硅太阳电池.pptVIP

快速扩散与丝网印刷制备多晶硅太阳电池 陶龙忠 沈辉 中山大学太阳能系统研究所 2008.06.07 国家高技术研究发展计划-863计划（2006AA05Z409） 提 纲 太阳电池产业化发展 连续式快速扩散设备的介绍 方块电阻与扩散温度和扩散时间的关系 快速扩散对方块电阻均匀性的影响 快速扩散形成的p－n结 快速扩散对少子寿命的影响 与丝网印刷结合制备多晶硅太阳电池及性能分析 从技术上说，国内的扩散工艺基本上全部采用常规管式扩散，扩散时间长，是整个生产工艺中的瓶颈，并且难以和后继工艺形成连续化生产线。国外研究机构非常重视快速扩散制备太阳电池的研究，并且成功将硅片的清洗腐蚀、扩散、沉积氮化硅薄膜、丝网印刷和烧结这些工艺完全整合成一条连续生产线，促进了规模化和产业化。目前，德国一些太阳电池企业已经开始定购这样的设备，采用连续式快速扩散炉来代替常规管式扩散炉，台时产量可达5600片。 2. 连续式快速扩散设备的介绍 试验采用Deutsche Solar的多晶硅片 参数为：156 mm×156mm，240±40μm，P/boron， 0.5~2.0 ohm·cm。 利用旋转涂源法进行涂源掺杂，掺杂液为磷酸溶液。将掺杂液中磷酸的含量提高到20％以上，可以保证快速扩散方式为恒定源扩散。