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第 卷第 期 压 电 与 声 光
39 3 Vol.39No.3
年 月
2017 6 PIEZOELECTRICS&ACOUSTOOPTICS Jun.2017
文章编号: ( )
10042474201703033605
弛豫铁电单晶超声电机的仿真与试验研究
史 翔,魏晓勇,李振荣,徐 卓,崔 玉
(西安交通大学 电子陶瓷与器件教育部重点实验室 国际电介质研究中心,陕西 西安 710049)
摘 要:弛豫铁电单晶以其良好的压电性能和低温适应性成为超声电机性能提升理想的替代材料。由于单晶
物理性能的各向异性,在单晶超声电机设计过程中必须考虑振幅均匀性和振型干扰问题。该文通过对两种具有振
幅均匀性的单晶切向进行压电、介电、弹性性能的计算和有限元分析,分析了单晶超声电机定子的工作频率、振幅
和振幅均匀性;设计制作了单晶超声电机样机,并对其进行了测试。结果表明, 20mm单晶超声电机堵转扭矩达
到 · ,优于同直径的压电陶瓷超声电机。
0.057N m
关键词:弛豫铁电单晶;超声电机;切型;振幅
中图分类号: ; 文献标识码:
O732+.1TN602 A
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