CO2超临界流体改质ITO之特性研究-建国科技大学.PDFVIP

CO2 超臨界流體改質 ITO 之特性研究 莊妙如 1 *戴慧文 2 田偉辰 2 朱安國 2 1 2 建國科技大學自動化系暨機電光所 國立中山大學光電所 (NSC101-2221-E-270-004-) 本研究是以 CO 超臨界流體( CO supercritical fluid, SCCO ) 處理 ITO 薄膜，並利用接觸角 2 2 2 量測儀 (Contact angle measurements) 、X 射線光電子能譜儀 (X –ray photoelectron spectroscopy ，XPS)及原子力顯微鏡 (atomic force microscopy ，AFM) ，研究改質後ITO 薄 膜的表面特性。實驗結果顯示，隨著 SCCO 操作壓非極性之表面能明顯增加，而極性之表 2 面能則壓力的影響較不明顯。此外比較改質後薄膜表面改質效果的穩定性， SCCO2 製程較 傳統氧電漿處理佳，當存放時間為 96 小時，SCCO2處理的薄膜總表面能及極性項表面能仍 可維持在 70.8 mJ/m2 2 2 及 37.8 mJ/m ，而傳統氧電漿處理的薄膜其表面能則降至62.3 mJ/m 及 28.9 mJ/m2 。此分析結果顯示極性項表面能之變化量是影響總表面能變化的主要因素。 關鍵字： CO 超臨界流體 、銦錫氧化物 、表面能 2 因此，本研究將以 SCCO 處理 ITO 薄膜，並利用接觸 1. 前言 2 角量測儀 (Contact angle measurements) 、X 射線光電子 有機發光二極體（ Organic Light-Emitting Diodes ， 能譜儀 (X –ray photoelectron spectroscopy ，XPS)及原子 OLEDs ），可以當作平面顯示器之光源，加上反應快、重量 力顯微鏡 (atomic force microscopy ，AFM) ，研究改質 輕、厚度薄、全彩化、製程簡單、成本低等，被視為 21世 後 ITO 薄膜的表面特性。 紀最具前途的產品之一 [1-4] 。 OLED的基本結構是由一 至多層的有機材料層如同三明治般的，被銦錫氧化物 (ITO, 2. 實驗方法 Indium tin oxide) 陽極與金屬陰極包夾其中。眾所皆知， OLEDs 元件之注入效率與ITO電極有著極