TEM穿透式电子显微镜是利用高能电子束（一般约在100keV~1MeV）穿.PDFVIP

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2017-06-21 发布于天津
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TEM穿透式电子显微镜是利用高能电子束（一般约在100keV~1MeV）穿.PDF

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TEM穿透式电子显微镜是利用高能电子束（一般约在100keV~1MeV）穿

TEM: 穿透式電子顯微鏡是利用高能電子束（一般約在100keV~1MeV）穿透厚度低於 100nm 以下之薄樣品，和薄樣品內的各種組織產生不同程度之散射。配合X 光能量分散光譜(Energy Dispersive Spectroscopy ；EDS)及能量損失譜儀 (Electron Energy Loss Spectroscopy ；EELS) ，不僅可以分析材料結構並且可以定量材料內部的成份。 SEM: 主要工作原理為電子鎗透過熱游離或是場發射原理產生高能電子束，經過電磁透鏡組後，可以將電子束聚焦至試片上，利用掃瞄線圈偏折電子束，在試片表面上做二度空間的掃瞄。。當電子束與試片作用時，會產生各種不同的訊號，如二次電子、背向散射電子、吸收電子、歐傑電子、特徵X 光...等。在一般掃瞄式電子顯微鏡偵測系統上，主要為偵測二次電子及背向散射電子成像，這些訊號經過放大處理後即可成像觀察。這次雖然只是參觀一下子而已，但卻更了解本科系的相關儀器及實驗，希望未來可以熟悉這些儀器的操作及原理，並且靈活應用於生活中。