半导体激光列阵慢轴准直和聚焦特性-北京工业大学学报.PDFVIP

No．3 第36卷第3期 北京工业大学学报 V01．36 2010年3月 JOURNALOFBEIJINGUNIVERSITYOFTECHNOLOGY Mar．2010 半导体激光列阵慢轴准直和聚焦特性 丁 鹏1，曹银花1，祁俊峰1，王晓薇2，左铁钏1 (1．北京工业大学激光工程研究院，北京100124； 2．中国科学院半导体研究所海特光电有限责任公司，北京 100083) 摘要：采用2块柱面透镜组成的望远镜系统对一个输出功率300W的大功率半导体激光堆栈慢轴进行准直 和聚焦，此堆栈由5个输出功率为60w的列阵堆叠组成，中心波长808llm．测量了由不同焦距的柱面透镜组合 的光路聚焦后的腰斑直径，比较了柱面透镜的面型参数对腰斑直径的影响．使用Zemax软件模拟了光路，分析 了系统的像差．在准直镜焦距Z=200mm，聚焦镜焦距五=100mm时，光斑功率密度为3．05kW／em2．在316L 不锈钢的辐照实验中，材料表面出现蒸发沟槽，熔化区深宽比约为0．5． 关键词：半导体激光列阵；慢轴；柱面透镜；准直 248．4 文献标志码：A 中图分类号：TN 半导体激光器具有体积小、质量轻、寿命长和光电转换效率高等优点，在光通信、泵浦固体激光器、激 光材料加工和军事等方面得到了广泛的应用¨引．单管半导体激光器由于受腔面灾变失效的影响，最大输 出功率通常为瓦的量级，半导体激光器制作成列阵(array)形式可以实现更高功率输出．目前国际标准的 半导体激光列阵条宽10mm，端面处一维横向排列若干发光单元，常见的有19、25、49个等几种． 由于大功率半导体激光器采用量子阱波导，输出光束快慢轴光场不对称是其最大弱点，并且由于波导 结构的衍射效应，大功率半导体激光器出射光束的发散角大，在垂直于结平面的快轴方向为300一400 的应用．必须进行快慢轴的准直，减小发散角，才能改善光束质量．目前常用的方法是对半导体激光束整 形J，将光束分割、旋转后重排．可以通过选择光束分割数目使快慢轴光参积近似相等，聚焦后的光束比 较容易耦合进光纤，但整形器结构复杂，功率损失较大．将半导体激光器应用于材料表面熔覆、相变硬化 等场合，可以使用矩形焦斑一3．基于半导体激光堆栈的物理结构，将光束快、慢轴准直后聚焦予同～焦平 面，即可得到矩形焦斑．这种方法结构简单、可靠性高、功率损失小．对于快轴准直，一般采用圆柱透镜、 双圆柱透镜和非球面微透镜等方法p1．对于半导体激光列阵的慢轴准直，也有许多方法一。．本文采用长 焦距的柱面透镜准直慢轴光束，通过实验测量和软件模拟，确定合适的慢轴准直参数，并进行了不锈钢辐 照实验． 1 实验装置 实验中采用300W连续半导体激光堆栈，它由5个60W列阵沿y方向堆叠组成，每个列阵在名方向 nm．快轴方向已经过非球面微透镜准直，发散角小于0．25。．慢轴方 排列有49个发光单元，中心波长808 向发散角随输出光功率增大而增加，根据实验测定，输出功率大于150W后，发散角最大值可达到10。 (FWHM)． 采用2块平凸柱面透镜组成望远镜系统，对慢轴光束准直后聚焦．大功率半导体激光列阵由于横向 收稿日期：2008-01-03． 启动基金(52101012200704)． 作者简介：丁鹏(1973一)，男，北京人，博士研究生． 430 北京工业大学学报 排列有多个发光单元，出射光束为非同心光束，如果 慢轴准育透镜M．聚焦镜M： 准直透镜焦距较小，对于距离光轴较远的发光单元， f —f。 产生较大像差，准直效果不理想．实验中采用的慢轴 ＼掣 准直镜为焦距大于60mm的几种长焦柱面透镜．用