准分子激光系统中的电磁干扰及抑制方法.PDFVIP

维普资讯 24 光 电 子 技 术 与 信 息 OptoelectronicTechnologyInformation 2005Jun；18(3) 准分子激光系统中的电磁干扰及抑制方法 邓国庆，朱志强，贺龙海 (中国科学院安徽光学精密机械研究所，安徽 合肥 230031) 摘 要： 准分子激光系统中的电磁干扰问题在许多应用中，特别在医疗设备中是不可忽视的一个问题。文中描 述了准分子激光器中的电磁干扰的来源和干扰途径，并详细从激光放电回路、激光腔和软硬件设计角度讨论了抑制 电磁干扰和提高系统可靠性的方法。 关键词 ：准分子激光；电磁干扰；放电回路 中图分类号：TN248．2 文献标识码：A 文献编号：1006-1231(2005)03—0024—03 EMIandSuppressionMethodsinExcimerLaserSystem DENG Guo—qing，ZHU Zhi—qiang，HE Long-hai (AnhuiInstituteofOpticsandFineMechanics， Hefei230031，China) Abstract： Electromagneticinterference(EMI)inexcimerlasersystemisaneffctwhichcannotbeignoredin manyapplications，especiallyin medicaldevices．ThesourcesofEM 1weredescribed．Themethodsinwhich suppresstheEMIandimprovesystem ’Ssecurityintermsofdischargecircuit，lasercavity，hard-softwraedesigns werediscussed． Keywords： excimerlaser；electromagneticinterference；dischargecircuit 1 引 言 原理和方法同样可用来分析其它脉冲气体激光器， 如氮分子、二氧化碳和铜蒸汽。 电磁干扰 (electro-magnetic—interference)是指不 2 准分子激光中的电磁干扰源 需要的电磁信号或噪声信号等对需要的电磁信号的 干扰。就高压气体快放电泵浦的准分子激光器来说， 由于准分子激光辐射上能级寿命较短，只有 电磁干扰指的是在激光泵浦放电回路中由瞬时大电 10_。。S，且大多数准分子的辐射波长处于紫外波段， 流引起的、并伴随激光一起产生的噪声。这种噪声能 相应的跃迁谱线较宽，故其粒子数反转阈值较高；另 通过电源线及连接到激光系统中的电子设备辐射出 外，准分子的连续荧光谱又决定了其有较小的发射 去，其频谱范围从 10kHz~lGHz之间 [。 截面，这都要求准分子激光形成要有很高的泵浦能 自准分子激光器问世以来，其作为紫外光源 已 量和泵浦速率 [。一般常用的放电泵浦准分子激光 经在很多工业、医学和研究领域得到了应用。随着准 器是在 20-~40kV的高压下使储能电容储存 10~70J 分子放电技术及材料方面的快速发展，易于集成、维 的能量，并以尽可能快的速度将这些能量沉积到激光 护和长寿命、高重复频率的紧凑型准分子激光器更 工作气体上，以取得有效的紫外激光输出。低电感、 是在光纤通信和医疗设备中有着广泛的应用。为了 高峰值功率和很快的电流上升率是其有效放电回路 使准分子激光系统能稳定可靠的运行，电磁干扰是 设计中的重要