原子力显微镜微探针与光束偏转法在纳米振动检测中的应用-光子学报.pdfVIP

30 10 光　子　学　报Vo l . 30 N o. 10 2001 10 A CT A PH OT ONI CA SINI CA Octo ber 200 1 * 李　博　吴　兰　崔喜泉 ( , 310027) E -ma l : mo master @ zju . edu . cn 本文探讨了表面弹性波传播的机制, 提出了一种利用原子 显微镜微探针与光束偏 转法检测纳米振动的新方法, 并利用这种方法对表面波质点的纳米振动进行了实时检测. 当 L N bO3 晶片被施以 13M Hz 的超高频激振电压时, 在原子 显微镜示波器监视端观察到了 质点的纳米振动, 幅值为6. 7nm, 频率和驱动电压的频率一致. 原子 显微镜; 光束偏转法; 表面弹性波; 纳米振动 1 ( . 2, 3 ) , , , , . , . : , 130M Hz , , 10M Hz . , 1 2 . , 4 . ( A to m c For ce M crosco pe, , ( A FM ) 1) . , . , . . , , , , . . A F M 1 , F g . 1P r nc ple of t he pr opagat on o f sur f ace w av e . * 国家自然科学基金( N o. 和教育部优秀青年教师基金资助项目 收稿日期: 200 1-0 3-12 10 . 1231 A F M A F M , -. , . . X -Y , A F M , ; , ( ) Ft ( 100H z) , ( ) Fn , Z .