等离子体增强原子层沉积原理与应用_曹燕强案例.pdfVIP

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2017-06-21 发布于湖北
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等离子体增强原子层沉积原理与应用_曹燕强案例.pdf

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、加工测量与设备Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎ，ＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｎｄＥｕｉｍｅｎｔｇ　　ｑｐ等离子体增强原子层沉积原理与应用，曹燕强李爱东（，）南京大学现代工程与应用科学学院固体微结构物理国家重点实验室南京２１００９３　：（），摘要等离子体增强原子层沉积ＰＥＡＬＤ是一种低温制备高质量超薄薄膜的有效手段近年。。来正受到工业界和学术界广泛的关注简要介绍了ＰＥＡＬＤ的发展历史和生长原理描述了：、ＰＥＡＬＤ常见的三种设备构造自由基增强原子层沉积直接等离子体沉积和远程等离子体沉，。，、积比较了它们的优缺点着重评述了ＰＥＡＬＤ的特点主要具有沉积温度低前驱体和生长材、、，料种类广工艺控制灵活薄膜性能优异等优势但也面临着薄膜三维贴合性下降和等离子体损。，、、伤等挑战列举了ＰＥＡＬＤ的一些重要应用如在金属薄膜制备铜互连阻挡层高介电常数材、。。料薄膜封裹等领域的应用最后展望了ＰＥＡＬＤ的发展前景：；（）；；；；；关键词等离子体原子层沉积ＡＬＤ薄膜沉积金属薄膜互连阻挡层高介电材料薄膜封裹中图分类号：文献标识码：文章编号：（）ＴＮ３０５．８Ａ１６７１－４７７６２０１２０７－０４８３－０８　　ＰｒｉｎｃｉｌｅａｎｄＡｌｉｃａｔｉｏｎｓｏｆＰｌａｓｍａＥｎｈａｎｃｅｄｐ　　ｐｐ　　　ＡｔｏｍｉｃＬａｅｒＤｅｏｓｉｔｉｏｎ　ｙ　ｐ，ＣａｏＹａｎｉａｎＬｉＡｉｄｏｎ　ｑｇ　ｇ（