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影像科学与光化学 Vo l. 33 No.3 第 33 卷第3 期 2015 年5 月 lmaging Science and Photochemistry May , 2015 http://www. yxkxyghx. org !王73豆豆] 基于印刷电子的透明导电薄膜研究进展 赵文秀，周奕华，钱俊祷 (武汉大学印刷与包装系，湖北武汉 430079) 摘 要:透明导电薄膜是一种在可见光范围内透光率较高、导电性优良的薄膜材料。近年来随 着智能手机、乎板电脑等电子产品日益普及，透明导电薄膜受到越来越多的关注。本文分析了 目前占据市场统治地位的掺锡氧化锢透明导电薄膜的缺点以及近年来国内外对透明导电薄膜 开展的研究工作，总结了目前在印刷电子领域透明导电薄膜的主要研究方向，一方面是在传统 金属氧化物薄膜基础上的改进;另一方面是寻找新型透明导电薄膜材料，并分别综述了各个研 究方向的最新进展。 关键词:透明导也薄膜;印刷电子;喷墨打印;图案化;透明电极 doi: 10. 7517/j. iss几 1674-0475.2015.03.251 文章编号: 1674-0475(2015)03-0251-13 近年来，电子科学技术不断发展，各类电子产 的生产工艺，或者开发出一些新型的透明导电薄 膜材料，以克服这些缺点。 品日益普及，市场需求不断扩大。作为许多电子 器件(如液晶显示器、触屏等)的关键部分，透明导 电薄膜受到越来越多的关注。透明导电薄膜 1 主流商业化透明导电薄膜的缺点 (transparent conductive film ，简称 TCF) ，是一种 在可见光范围内(波长 380 nm ,_, 780 nm) 透光率 目前商业化的透明导电薄膜中占统治地位的 较高、导电性优良的薄膜材料。透明导电薄膜广 是掺锡氧化锢 (tin doped indium oxide ，简称 泛应用于液晶显示屏、触屏、薄膜太阳能电池、发 ITO) ，占据了超过 97% 的透明导电薄膜市场[IJ 。 光器件和电磁屏蔽装置等[1.2J 。尽管目前市场上 ITO 透明导电薄膜具有优良的光电性能，具有可 基于金属氧化物的透明导电薄膜已经较为成熟， 低至10 n/吨的方阻，并且在可见光范围内有 90% 但是还是存在很多缺点。国内外针对透明导电薄 左右的透明度[巧。然而，ITO 透明导电薄膜也有 膜的研究逐渐成为热点，人们期望开发出一些新 很明显的缺点，主要体现在两个方面。第一是生 2015-01-26 收稿， 2015-03-19 录用 湖北省科技支撑计划项目(YJG0261) 和武汉市科技攻关项目(2014010101010002)资助 铃通讯作者.E-mail:qianjungreat@ 251 252 影像科学 与光 化学 第 33 卷 产成本较高。传统的工业化ITO 薄膜生产通常采 用昂贵且工艺复杂的基于其空的沉积技术，而且 2 基于传统金属氧化物材料的改进 需要特殊的蚀刻加工过程图案化，增加了生产成