微光机电系统滤波器可调谐特性分析.pdfVIP

维普资讯 第 24卷 第 8期 光 学 学 报 Vo1．24。No．8 2004年 8月 ACTA 0PTICA SINICA August，2004 文章编号：0253—2239(2004)08-1125—5 微光机电系统滤波器可调谐特性分析* 沈伟东 朱 勇 黄弼勤 陈海星 刘 旭 顾培夫 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，杭州 310027) 摘要： 分析了基于法布里一珀罗腔的微光机电系统可调谐滤波器中，空气腔厚度与峰值波长问的关系。微光机电 系统中，空气腔的厚度一般在一个波长附近，因此腔的干涉级数较小，两边反射镜的反射相位对峰值波长的影响比 较大。从反射相位出发，推导出了基于这种结构的可调谐滤波器中空气腔厚度和谐振波长之间的线性关系，并通 过数值计算进行了验证。分析了影响滤波器调谐灵敏度的因素，构成介质反射镜的薄膜材料的高低折射值以及薄 膜堆的层数都能改变线性系数的值。最后估算了一定波长范围内这种线性关系的误差。 关键词： 微光机 电系统；可调谐滤波器；法布里一珀罗腔；反射相移；调谐特性 中图分类号：TN205 文献标识码：A AnalysisoftheMicro-OpticalElectromechanicalSystem Filters TunableProperty ShenWeidong ZhuYong HuangBiqin ChenHaixin LiuXu GuPeifu (StateKeyLabsofModernOpticalInstrumentation，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027) (Received27June2003：revised8September2003) Abstract： Therelationbetweentheairgapthicknessandthepeakwavelengthinmicro—optical electromechanicalsystem (MOEMS)opticaltunablefilterbasedonFabry—Perotetalonisdiscussed． InthedevicesbasedonMOEMS，lengthoftheaircavityisaboutonewavelength，sothephase shiftonreflectionofthedielectricreflectorplaysacrucialroleinthelOW interferenceorder．From thephase shift，the linearrelation between the airgap thicknessand the peakwavelength is presentedandthenprovedbynumericalcomputation．Therefractive indexofthin filmsandthe numberofstacksconstructingthereflectorthatinfluencethetunablesensitivityareanalyzed．At theend，errorinaspecifiedwavelengthrangeisestimated． Keywords： micro—opticalelectro．mechanicalsystem；tunableopticalfilter；Fabry．Perotcavity； phaseshiftonreflection；tunableproperty 引 口 动上层反射镜来实现波长选择器，也可实现由中心 波长反推