微机电系统光学组件的系统级建模.pdfVIP

第 2O卷 第 5期 光学 精密工程 Vo1．2O No．5 2012年 5月 OpticsandPrecisionEngineering M av．2O12 文章编号 1004—924X(2012)051069—07 微机电系统光学组件的系统级建模 李晓莹 ，李慧敏，常洪龙，何 洋，焦文龙 (西北工业大学 陕西省微／纳米系统重点实验室，陕西 西安710072) 摘要 ：为提高微机 电系统 (MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率 ，解决光学组件系统级建模存在 的问题 ，提出了 一 种光学组件系统级建模方法 ，该方法可 同时支持与 MEMS系统级机械组件和 电路组件共 同仿真 。首先，介绍 了多端 口组件网络方法、高斯光束特点和空间坐标系变换理论。接着 ，以微平面镜为例 ，介绍 了光学组件系统级建模方法 的流 程 。最后 ，采用 VerilogA硬件描述语言建立 了包含多个典型光学组件 的系统级光学库 。使用该库 的光学组件在 MEMS集成设计工具 MEMSGarden中搭建微扫描系统进行 了仿真与测试 。与商业软件 CoventorWare的分析结果相 比，提 出的建模方法解决 了扫描盲 区问题 ，且非差分 电压分析 的误差小于 3 。结果显示 ，本文提 出的建模方法精确有 效 ，对 MEMS的系统级设计有参考价值 。 关 键 词 ：微机 电系统 (MEMs)；光学组件 ；建模 ；Verilog—A硬件描述语 言 中图分类号 ：TH703；TP391 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE1069 System。-levelmodelingforM EM Sopticalcomponents LIXiao—ying ，LIHui—min，CHANG Hong—long，HEYang，JIAOWen—long (LaboratoryofMicroandNanoElectromechanicalSystems， NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xian 710072，China) *C0rrs0 咒gauthor，F-mail：xiaoy@nwpu．edu．cn Abstract：Toimprovetheaccuracyandefficiencyofthesimulationfortheopticalsystem inaM icro—e— lectro—mechanicalSystem (MEM S)andtoovercomethedifficultiesin thesystem—levelmodelingof M EMSopticalcomponents，asystem—levelmodelingmethodwasproposedtosupporttheCO—simula— tionforMEM S system—levelmechanicalcomponentsand electricalcomponents．First，themodeling methodologyofMulti—Port—ElementNetwork (MuPEN)。thecharacteristicsofGaussianbeam andthe theoryofspacecoordinatetransformationwereintroduced．Then，themodeling processofamicro— mirrorwasgiventoexplainthemodelingmethodofallopticalcomponents．Finally，using thehard— waredescriptionlanguageofVerilog—A，anopticallibraryincludingsometypicalcomponentswases— tablished．Thenon—differentialvoltagesimulation resultsofthe system—levelscanning system were comp