微机电系统的科学研究与技术开发.pdfVIP

维普资讯 清 华 大 学 学 报 (自然科 学 版) 1／29 1997年 第 37卷 JournalofTsinghLlaUniversity(Sci＆Tech) 第9期 第 1～5页 ／尸尸7＼ ＼口I广 微机电系统的科学研究与技术并发 77．，7( 卜 丁衡 高 弋H一 清华大学 ．北京 100084 文 摘 着重论述了当酋国际上擞机 电幕统 的相 关基础理 要作用。在微小尺寸领域 ，与特征尺寸 的高次方 论研究、镟机 电系统制造工艺技术的发展、微机 电系统发展 成比例的惯性力、电磁力()等的作用相对减小，而 莉鸯与趋势．景后强调 了探索适台我国国情的镟机 电系统发 与尺寸的低次方成比例的粘性力、弹性力 。)、表面 展途径的重要性。 张力 ( )、静 电力 (Lo)等的作用相对增大。这是 关■调 微机 电系~(MEMS)}微机械f擞惯性测量组台 ●_ 。__ ___ _ 。一 、 __ · 一 、_ 。。 ‘’- __ 。 - 。一 MEMS常用静电力致动的理由。随着尺寸的减小， (M Ⅱ U) 表面积( )与体积 。)之比相对增大，因而热传导、 分类号 TH 16；TN402 化学反应等加速，表面间的磨擦阻力显著增大。材料 性能和磨擦现象也受到制作工艺的影响。当然， 1996年 6月 5日，作者曾在中国工程院的学术 MEMS的理论研究不止于此，还有如微流体力学以 会议上，作了题为 “微机 电系统和微惯性测量组合 及MEMS建模等问题。 的报告。本文是在该报告稿基础上重新整理而成的。 MEMS的系统集成包括徽传感器或执行器与 l 微机电系统的相关基础理论研究 控制处理电路的集成、集成基座、系统分割、能源供 给、接 口与通信等等。微系统的测量涉及材料的机械 徽电机系统 (MEMS)可以分成多个独立的功 性能、徽构件和微系统参数与性能测试。微薄膜构件 能单元，输入的物理或化学信号由传感器转换为电 信号，经过信号处理后，通过执行器与外界作用。微 的弹性模量、泊橙比、拉伸强度、残余内应力、破坏韧 性、疲劳强度等与块材的不尽相同，需在测量的基础 惯性测量组合 (M1Mu)由微陀螺、微加速度计及相 上建立微构件材料的数据库和微系统的数学力学模 关的专用集成 电路组成 ，是一种重要的MEMS，主 要用于运载平台和弹药的导航与制导。 型，还应重视微缺陷的测量。目前的徽系统控制都很 MEMS开辟了一个新的技术领域。MEMS研 简单，而微机器人是微系统研究的一个新 目标，它将 能进入人体和狭小空间进行工作，需要多变量的协 究不仅涉及元件和系统的设计、材料、制造、测试、控 调控制。 制、集成、能源以及与外界的联接等许多方面，还涉 及徽电子学、微机械学、微动力学、微流体学、微热力 2 MEMs崩造工