微机电系统（MEMS）惯性传感器的性能.pdfVIP

维普资讯 《惯导与仪表~,2001．No．4 微机电系统(MEMS)惯性传感器的性能 A．Kourepenis，j．Borenstein，JConnelly，R．Elliot，P．Wad，M．Weinberg CharlesStarkDrper实验室 剑桥 ，马萨诸塞州，02139 摘 要 采用先进 的微结拘加工工艺 已经可以生产 出体积小巧 、价格低廉的硅惯 性传感器，算性能优异，结构坚固，井具备 内在的时称性。与专用集成 电路 (AsIc)一体化封装的传感器为 3×3crn的平面封装，5V直流 电源驱动，并且 已 经在汽车防抱死打滑、牵引控制系统和制导弹药等应用领域作了评测 制导弹药 采用这种多芯片模块 (M,ati—ChipModule，MCM)传感器后，提高了海军5”／54 史炮平 台精度。 传感器采用晶片溶蚀工艺制造，将单晶硅健舍到玻璃基片上，获得传感器极 限足寸妁为 lFfi／13。在汽车环境温度范围一柏℃ +85℃内展示的传感器性能，未 经补偿 ，陀螺偏置漂移率为0．5~／S，标度 因数误差为 1．0％，加速度计偏置为 300rag标度 因数误差为0．5％。进行 6小时测试 ，温度 变化 范围控制为0．5℃．陀 螺编置对微小温度的稳定性 已经超过 1O hr(0．003／S)．相应的加速度计也 已经 达到亚]fit—g的水平 陀螺典型的随机游走为0．25。／ ，最好的达到0．05 h， 相应加速度计的速度随机游走达到5era／s／√h。经过补偿，在一40℃～+85℃温 度范围内，传感器的标度 因数稳定性超过 20Oppm，偏置 随机性误差 陀螺小于 50。／hr，加速度计小于 lnag。这类传感器能经受 60000g的气枪试验 ，证 明设计对 环境的鲁棒性 良好 本文讨论了这类传感器的测试和规划性能，着重点是近期陀螺和加速度计的 测试结果。相关的电路设计 、控制和实际应用 问题也将作一讨论 。 1．引 言 CharlesStarkDraper试验室研制开发地面和空间惯性导航制导系统已经有 5o多年的历 史了。其开发微机械陀螺的历史不下 l0年、率先作了微机械硅传感器敏感速率的展示。 微机械加工的技术是从半导体制造工业中沿用过来的，在硅芯片上制造微型传感器和作动 器。该工艺的应用减小了传感器的体积，降低了成本，使许多新兴的应用领域得以发展。 Draper在简化微硅仪表的加工工艺和实现性能的不断提高等方面，已经取得了长足的 进步 最初的微硅传感器用了l7遭工艺，带宽60赫兹、工作分辨率为1，000，000o／hr。将 音叉调谐陀螺结构和晶片溶烛工艺结合到一起 ．相同带宽条件下的同一性能指标的标称值 已经提高到 150。／hr，最好的为25。／hr水平 微硅传感器的制造工艺现在已经简化为 3道 *踅 目原文：PerformanceofMEMSfnertialsens0rs 维普资讯 惯《导与仪表)2001．No．4 工序，提高了产量．降低了单位成本．． 与 Draper目标一致，RockweIIAutonetics(现在的北美波音，BNA)，都致力于将技术投 入到工业生产中去。二者在 1993年联手．规划将 Draper成熟的微机械惯性技术投入到生 产中实现产品商业化。微硅传感器最初用在汽车的防打滑控制和防抱死刹车系统中。随着 性能的提高现在微硅传感器已经进入军事领域，比如最初应用在低端的无制导的火炮炮弹 及火箭中。 2．工作原理 音叉调谐陀螺 (TFG)(图 1) 由一悬空于玻璃基片之上的硅结构组成。玻璃基片上沉 积了一层金属用作为电路接 口。硅结构有两惯性质块，由梁结构顺序支撑，梁固定在玻璃 基片的特定点上。在外驱动质量上施加 电压，两质量块在静电力作用下