微电子所等有机器件低温柔性薄膜封装研究获进展.pdfVIP

匹圈 』n 舳矗onCon111luinicationsTechnology 中乖斗大开发出振动信号灵敏测量 方法 中国科学技术大学合肥微尺度 基于量子力学的基本原理 ， 物质科学国家实验室的研究人员基 任何测量过程都会对被测对象造成 于 自建的弱力探测实验平台，探索 扰动和破坏，力学探测方法也不例 出了灵敏测量振动信号的新方法， 外，然而理论分析表明，如果待测 在室温下实现了对纳米机械振子振 机械振子的振动频率低于探测机械 动的精密测量。 振子的振动频率，探测过程就能够 传统的振动测量方法通常要将 确保在探测噪声小于被测对象的噪 振动转换为光、电、磁等信号，通 声的同时，不引入多余力噪声。采 过测量这些信号实现高灵敏度的位 用纳米微加工技术，研究人员制作 移测量，对被测机械振子的几何形 了2个相互靠近的纳米机械振子， 中国航天科工信息技术研究 状和尺寸有着苛刻的要求，难以直 通过在这2个机械振子之间施加特 院航天测控公司发布系~J,PXl智 接应用于未来纳米，甚至亚纳米尺 定的电压，实现 参数耦合，并用 能平板产 品。 度的机械振子运动的探测，制约了 实验验证了该方法的可行性：在探 该系列PXI智能平板产品的 弱力探测研究的发展。 测灵敏度为l0 m的样品下，该方 外形类似于 目前市场上流行的平 新方法将位移信号转移为力 法能够将探测引入的额外力噪声控 板 电脑，但实际上，其是一款功 信号，并通过灵敏的力探测手段进 制在10-1SN以下。 能强大的工作类平板测试产品， 一 步加以测量，由于力信号与位移 这种新的位移测量方法测量灵 可为用户提供一体化的便携式测 的信号转换在原理上对待测物体的 敏度较高，对未来开展低温下的极 试、测量、信号处理等多种解决 结构、材料特性等性质没有任何限 弱力信号zN (10-2JN)测量及相关 方案。 制，因而该方法弥补了已有振动测 的基础物理研究具有较高的应用价 该系~IJPXI智能平板产品采 量手段的不足。 值。 (科技部) 用紧凑化架构设计，将测试、分 析所需的各种仪器设备通过不同 微电子所等有飙器件I氏温柔牲薄膜封装研究获进展 的功能板卡集成在一起，体积仅 为传统测试平台的20％，而功能 中国科学院微 电子研究所微电 前驱体条件下分别实现了对有机、 覆盖及性能指标都实