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阳极氧化制备氧化钛薄膜原理剖析 - 表面技术
第 卷 第 期 年 月 表面技术
暋 39 暋暋 4 暋暋2010 8
暋暋暋Vol.39暋No.4暋Au.2010 SURFACETECHNOLOGY
g 暋暋暋45
阳极氧化制备氧化钛薄膜原理剖析
,
廉冰娴 许兵
( , )
山西机电职业技术学院 长治 046011
[ ] , ,
摘 要 通过实验制备了几种不同厚度的氧化钛薄膜 从膜的形成机理及氧化着色原理 得出薄膜厚度随
暋暋 暋 暋
, / 。 ,
电压增加而增加 且其增加速率大致在 2.5nm V 重点剖析了氧化钛薄膜的氧化着色原理 并通过实验模拟分
, 。
析了氧化膜形成机理 为后续研究提供了参考
[ ] ; ; ; ;
关键词 阳极氧化 氧化薄膜 厚度 原理剖析 模拟
暋
[中图分类号] [文献标识码] [文章编号] ( )
TG174.44暋 暋 暋 A 暋 暋 暋 1001灢3660201004灢0045灢02
PrincileAnalsesofPrearationOxideTitaniumFilmUsin AnodeOxidation
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,
LIANBin灢xian XUBin
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( , , )
ShanxiInstituteofMechanicalElectricalEnineerin Chanzhi046011 China
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[ ] ,
Abstract暋Accordin totheexerimentseveralkindsofdifferentthicknessoxidizetitaniumfilmhavebeenmade.
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, / ,
Withtheincreasin ofvoltae thefilmthicknessalsoincreasesatarateof2.5nm Vbasicall.Inaddition the aer
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analsesoxidizecolor rincileofoxidetitaniumfilm rioritusin exerimentandtheformmechanismofoxidetitani
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