热氮化二氧化硅.PDFVIP

一九八五年 南 京 工 学 院 学 报 凡 了 ! ∀ ! # 第 一 期 二 膜 的 究 热 氮化 氧 化硅 研 陆明莹 张 慰 耀光 家 生 , 刚 了 电 用氛气时热 长的二氧化硅膜进行 了 化处理 试 膜的 猜要 氮 。 , 特性 并研完 了工 艺村它们 的影响 实 发现 热 化二 化硅膜 兼有, 学 验 氮 氧 , 而 面 大 可 。 二 化硅 与 化硅膜 的优点 且界 电 在较 范围 内具有 的特点 氛 氮 荷 控 面 。 用 分析技术研究了热 化 二 化硅膜的结构 还 讨 了二氮化 表 氮 氧 探 硅膜热 化的机理。 氮 日百 台 一、 ‘二 、 。 随着大规模 超大规模集成 电路的发展, 电路中的器件尺寸越来越小 根据按比 , 的一 的 。 用 为 例缩小理论 使纵向尺寸减小 个关键问题是制备优 良 栅介质膜 膜作 的 电 的 工艺, 于 导 生 的 为 形 网 , 器件 栅介质是集成 路 基本 但 由 半 体器件 产中制备 无定 络 、 ,